BAGAIMANA BAHAN TINJAUAN Pecahkan 3 tantangan penting dalam desain tungku semikonduktor

Perlombaan untuk mengecilkan ukuran transistor dan skala efisiensi sel surya mendorong peralatan pemrosesan termal ke batasnya. Di Semicorex, kami telah menghabiskan dua dekade berkolaborasi dengan produsen semikonduktor dan PV terkemuka untuk mengatasi titik nyeri yang berulang: ketika bahan standar gagal dalam kondisi ekstrem, seluruh batch produksi dapat dikompromikan.

Pelapis CVD: Armor untuk Komponen Proses

Pelapis uap kimia (CVD) seperti silikon karbida (sic) dan tantalum carbide (TAC) merevolusi umur panjang komponen di lingkungan yang keras:

Lapisan sicKeuntungan:

Tahan suhu hingga 1.650 ° C di atmosfer lembam

Mengurangi kontaminasi partikel dalam reaktor pertumbuhan epitaxial

Perluas masa pakai kerentanan grafit sebesar 3-5x

TAC Coatingdalam hambatan difusi:

Mencegah infiltrasi silikon cair di cawan lebur (99,999% retensi kemurnian)

Minimalkan wafer warpage selama pemrosesan termal cepat (RTP)

Saat suhu melebihi 1600 ° C: Keuntungan pelapisan CVD

Ini bukan sihir - ini ilmu material. Proses CVD eksklusif kami menyetor pelapis SIC dan TAC dengan presisi tingkat atom, menciptakan permukaan yang:

Tahan korosi uap silikon 3x lebih panjang dari pelapis standar

Pertahankan variasi ketebalan <0,5 μm di seluruh geometri kompleks

Menghilangkan delaminasi pelapis bahkan di bawah bersepeda termal

Krisis diam dalam keseragaman termal

Dalam tungku pertumbuhan kristal, distribusi suhu yang tidak konsisten dapat mengubah ingot silikon senilai $ 250 ribu menjadi memo. Melalui inovasi material seperti:

Grafit bertingkat kerapatan Felt (0,18-0,25g/cm³ desain gradien)

Insulator Komposit Karbon-Karbon dengan <2% Anisotropi Ekspansi Termal

... Kami telah membantu klien mencapai:

✔️ ± 1,5 ° C keseragaman suhu aksial dalam sistem czochralski 300mm

✔️ 40% tingkat pendinginan yang lebih cepat tanpa retak ingot

Mengapa kuarsa kemurnian lebih penting dari sebelumnya

Ketika pengecoran Tier-1 MEMS melacak cacat partikel ke liner ruang etsa mereka, solusi kuarsa gabungan bebas gelembung kami:

Mengurangi kontaminasi logam sebesar 89% (analisis ICP-MS)

Interval pemeliharaan preventif yang diperpanjang dari 3 hingga 8 bulan

Mencapai 99,999% kemurnian awal dengan <0,1ppb kandungan logam alkali

Di luar spesifikasi: masalah rekayasa aplikasi

Sementara spesifikasi teknis memberikan perbandingan dasar, kinerja dunia nyata tergantung pada:

• Kopling Bahan -Proses - Bagaimana komponen berinteraksi dengan kimia spesifik (mis., CL₂ vs SF₆ Plasma)

• Perpustakaan Mode Kegagalan - Database kami dari 1.200+ Kasus Kegagalan Komponen menginformasikan pemilihan material

• Penilaian Kustom - Menyesuaikan porositas/konduktivitas grafit di bagian penampang bagian

Semicorex menawarkan berkualitas tinggiTantalum carbide dilapisiDanSilicon carbide dilapisiBagian yang disesuaikan. Jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Hubungi Telepon # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com