Sebagai manufaktur profesional, kami ingin memberi Anda Komponen Semikonduktor. Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Lapisan silikon karbida kami padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus manufaktur semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor serta fabrikasi semikonduktor.
Komponen berlapis SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses di semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari bahan habis pakai grafit untuk zona panas pertumbuhan kristal (pemanas, susceptor wadah, insulasi), hingga komponen grafit presisi tinggi untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti susceptor grafit berlapis silikon karbida untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau proses penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan kimiawi yang keras. Semicorex memasok konstruksi grafit berlapis silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Ruang →
Tutup Ruang yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Efektor Akhir →
Efektor akhir adalah tangan robot yang menggerakkan wafer semikonduktor antar posisi dalam peralatan pemrosesan wafer dan pembawa.
Cincin Masuk →
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC oleh peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus →
Semicorex memasok cincin fokus Silicon Carbide Coated benar-benar stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum keramik ultra-datar Semicorex dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Elektroda silikon kristal tunggal Semicorex berfungsi sebagai elektroda dan jalur gas pengetsaan selama proses pengetsaan wafer. Elektroda silikon kristal tunggal Semicorex adalah komponen silikon yang sangat diperlukan yang dirancang khusus untuk pembuatan etsa semikonduktor kelas atas, yang dapat membantu meningkatkan presisi dan keseragaman etsa.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Cantilever Paddles adalah komponen rekayasa presisi yang dirancang untuk aplikasi pemrosesan semikonduktor bersuhu tinggi dan kemurnian tinggi. Semicorex menyediakan Cantilever Paddles berkualitas tinggi untuk memenuhi persyaratan yang menuntut penanganan wafer canggih dan sistem manajemen termal.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin etsa silikon semicorex adalah komponen etsa berbentuk cincin presisi yang dibuat dari silikon kristal tunggal dengan kemurnian tinggi. Mereka adalah bagian silikon penting yang digunakan dalam peralatan etsa plasma, yang dirancang khusus untuk menciptakan kondisi etsa plasma yang optimal. Pilih Semicorex, pilih cincin etsa silikon berkualitas tinggi.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanTabung tungku semicorex untuk LPCVD adalah komponen tubular yang diproduksi secara presisi dengan lapisan CVD SiC yang seragam dan padat. Dirancang khusus untuk proses deposisi uap kimia bertekanan rendah yang canggih, tabung tungku Semicorex untuk LPCVD mampu menyediakan lingkungan reaksi bersuhu tinggi dan bertekanan rendah yang sesuai untuk meningkatkan kualitas dan hasil deposisi film tipis wafer.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanTabung tungku berlapis SiC Semicorex CVD adalah komponen tubular kelas atas yang khusus diproduksi untuk pemrosesan semikonduktor suhu tinggi, seperti oksidasi, difusi, dan anil wafer semikonduktor. Memanfaatkan teknologi pemrosesan canggih dan pengalaman manufaktur yang matang, Semicorex berkomitmen untuk memasok tabung tungku berlapis CVD SiC yang dibuat dengan mesin presisi dengan kualitas terdepan di pasar bagi pelanggan kami yang berharga.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanTabung Proses SiC Semicorex dibuat dari keramik SiC dengan kemurnian tinggi dengan lapisan SiC CVD, sangat cocok untuk tungku horizontal di Semikonduktor. Mempertimbangkan kualitas produk dan layanan purna jual, Semicorex adalah salah satu yang ingin melakukan bisnis berkualitas tinggi dengan pelanggan kami di seluruh dunia.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan