Sebagai manufaktur profesional, kami ingin memberi Anda Komponen Semikonduktor. Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Pelapis silikon karbida kami padat, suhu tinggi, dan tahan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus pembuatan semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor dan fabrikasi semikonduktor.
Komponen berlapis SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses dalam semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari bahan habis pakai grafit untuk zona panas penumbuhan kristal (pemanas, susceptor wadah, insulasi), hingga komponen grafit presisi tinggi untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti susceptor grafit berlapis silikon karbida untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau pemrosesan penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras. Semicorex memasok konstruksi grafit berlapis silikon karbida (SiC) kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Kamar â
Tutup Chamber yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Efektor Akhir â
End effector adalah tangan robot yang menggerakkan wafer semikonduktor antara posisi dalam peralatan pemrosesan wafer dan pembawa.
Cincin Saluran Masuk â
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC oleh peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus â
Pasokan Semicorex Silicon Carbide Coated ring fokus benar-benar stabil untuk RTA, RTP atau pembersihan bahan kimia yang keras.
Wafer Chuck â
Semicorex ultra-flat ceramic vacuum wafer chucks dilapisi SiC kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Semicorex SiC Vacuum Chuck mewakili puncak rekayasa presisi yang disesuaikan untuk industri semikonduktor yang menuntut. Dibuat dari substrat grafit dan ditingkatkan melalui teknik Deposisi Uap Kimia (CVD) yang canggih, perangkat inovatif ini dengan mulus mengintegrasikan sifat lapisan Silikon Karbida (SiC) yang tak tertandingi. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC Wafer Chuck berdiri sebagai puncak inovasi dalam manufaktur semikonduktor, berfungsi sebagai komponen penting dalam proses rumit fabrikasi semikonduktor. Dibuat dengan presisi yang sangat teliti dan teknologi mutakhir, chuck ini memainkan peran yang sangat diperlukan dalam mendukung dan menstabilkan wafer silikon karbida (SiC) selama berbagai tahap produksi. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanTabung Tungku Difusi Semicorex adalah komponen penting dalam peralatan manufaktur semikonduktor, yang dirancang khusus untuk memfasilitasi reaksi yang tepat dan terkontrol yang penting untuk proses fabrikasi semikonduktor. Sebagai wadah utama dalam zona reaksi tungku semikonduktor, tabung tungku difusi memainkan peran penting dalam memastikan integritas dan kualitas perangkat semikonduktor yang diproduksi. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanLiner Tabung Proses Semicorex SiC (Silicon Carbide) adalah komponen penting dalam produksi semikonduktor dalam lingkungan yang memerlukan suhu tinggi dan tingkat kemurnian tinggi. Liner Tabung Proses SiC ini dirancang khusus untuk tahan terhadap kondisi termal ekstrem dan menjaga tingkat kemurnian tinggi untuk memastikan bahwa proses manufaktur semikonduktor tidak terganggu. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC (Silicon Carbide) Cantilever Paddle adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, khususnya dalam tungku difusi atau LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition) selama proses seperti difusi dan RTP (Rapid Thermal Processing). SiC Cantilever Paddle berfungsi untuk membawa wafer semikonduktor dengan aman di dalam tabung proses selama berbagai proses suhu tinggi seperti difusi dan RTP. Ini berfungsi untuk mendukung dan mengangkut wafer di dalam tabung proses tungku ini. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSuku Cadang Semicorex dalam Pertumbuhan Epitaxial adalah komponen penting yang digunakan dalam sistem pertumbuhan epitaxial, khususnya dalam proses yang melibatkan pengaturan tabung kuarsa. Bagian-bagian ini memainkan peran penting dalam memfasilitasi aliran gas untuk mendorong rotasi dasar baki dan memastikan kontrol suhu yang tepat selama proses pertumbuhan epitaksi. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan