Sebagai manufaktur profesional, kami ingin memberi Anda Komponen Semikonduktor. Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Lapisan silikon karbida kami padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus manufaktur semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor serta fabrikasi semikonduktor.
Komponen berlapis SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses di semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari bahan habis pakai grafit untuk zona panas pertumbuhan kristal (pemanas, susceptor wadah, insulasi), hingga komponen grafit presisi tinggi untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti susceptor grafit berlapis silikon karbida untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau proses penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan kimiawi yang keras. Semicorex memasok konstruksi grafit berlapis silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Ruang →
Tutup Ruang yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Efektor Akhir →
Efektor akhir adalah tangan robot yang menggerakkan wafer semikonduktor antar posisi dalam peralatan pemrosesan wafer dan pembawa.
Cincin Masuk →
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC oleh peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus →
Semicorex memasok cincin fokus Silicon Carbide Coated benar-benar stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum keramik ultra-datar Semicorex dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Lapisan CVD SiC pada Semicorex SiC Coating Heater menawarkan kinerja unggul dalam melindungi elemen pemanas dari lingkungan yang keras, korosif, dan reaktif yang sering ditemui dalam proses seperti Deposisi Uap Kimia Organik Logam (MOCVD) dan Pertumbuhan Epitaxial.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanKepala Pancuran Logam, yang dikenal sebagai pelat distribusi gas atau kepala pancuran gas, adalah komponen penting yang banyak digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor. Fungsi utamanya adalah untuk mendistribusikan gas secara merata ke dalam ruang reaksi, memastikan bahwa bahan semikonduktor bersentuhan secara seragam dengan proses. gas.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPemanas MOCVD oleh Semicorex adalah komponen yang sangat canggih dan dirancang dengan cermat yang menawarkan banyak keunggulan, termasuk kemurnian kimia yang luar biasa, efisiensi termal, konduktivitas listrik, emisivitas tinggi, ketahanan terhadap korosi, sifat tidak teroksidasi, dan kekuatan mekanik.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan