Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan.
Tantalum karbida (TaC) merupakan senyawa yang terdiri dari tantalum dan karbon. Ia memiliki konduktivitas listrik logam dan titik leleh yang sangat tinggi, menjadikannya bahan keramik tahan api yang dikenal karena kekuatan, kekerasan, serta ketahanan terhadap panas dan aus. Titik leleh Tantalum Karbida mencapai puncaknya sekitar 3880°C tergantung pada kemurniannya dan merupakan salah satu titik leleh tertinggi di antara senyawa biner. Hal ini menjadikannya alternatif yang menarik ketika tuntutan suhu yang lebih tinggi melebihi kemampuan kinerja yang digunakan dalam proses epitaksi semikonduktor majemuk seperti MOCVD dan LPE.
Data material Lapisan Semicorex TaC
Proyek |
Parameter |
Kepadatan |
14,3 (gram/cm³) |
Emisivitas |
0.3 |
KTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kekerasan (HK) |
2000 |
Resistansi (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Stabilitas Termal |
<2500℃ |
Perubahan Dimensi Grafit |
-10~-20um (nilai referensi) |
Ketebalan Lapisan |
≥20um nilai tipikal (35um±10um) |
|
|
Di atas adalah nilai-nilai tipikal |
|
Semicorex TaC Coating Wafer Susceptor adalah baki grafit yang dilapisi dengan tantalum karbida, digunakan dalam pertumbuhan epitaksi silikon karbida untuk meningkatkan kualitas dan kinerja wafer. Pilih Semicorex karena teknologi pelapisannya yang canggih dan solusi tahan lama yang memastikan hasil epitaksi SiC yang unggul dan masa pakai suseptor yang lebih lama.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Panduan Pelapisan TaC adalah cincin grafit dengan lapisan tantalum karbida, dirancang untuk digunakan dalam tungku pertumbuhan kristal silikon karbida untuk meningkatkan kualitas kristal. Pilih Semicorex karena teknologi pelapisannya yang canggih, memastikan daya tahan yang unggul, stabilitas termal, dan kinerja pertumbuhan kristal yang optimal.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Panduan Semicorex Tantalum Carbide adalah cincin grafit yang dilapisi dengan tantalum karbida, digunakan dalam tungku pertumbuhan kristal silikon karbida untuk dukungan kristal benih, optimalisasi suhu, dan peningkatan stabilitas pertumbuhan. Pilih Semicorex karena material dan desainnya yang canggih, yang secara signifikan meningkatkan efisiensi dan kualitas pertumbuhan kristal.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Tantalum Carbide Ring adalah cincin grafit yang dilapisi dengan tantalum karbida, digunakan sebagai cincin pemandu dalam tungku pertumbuhan kristal silikon karbida untuk memastikan kontrol suhu dan aliran gas yang tepat. Pilih Semicorex karena teknologi pelapisannya yang canggih dan bahan berkualitas tinggi, menghasilkan komponen yang tahan lama dan andal yang meningkatkan efisiensi pertumbuhan kristal dan masa pakai produk.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanBaki Wafer Pelapis Semicorex TaC harus dirancang untuk tahan terhadap tantangan kondisi ekstrem di dalam ruang reaksi, termasuk suhu tinggi dan lingkungan yang reaktif secara kimia.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPelat Pelapis Semicorex TaC menonjol sebagai komponen berkinerja tinggi untuk proses pertumbuhan epitaksi yang menuntut dan lingkungan manufaktur semikonduktor lebih lanjut. Dengan serangkaian sifat unggulnya, pada akhirnya dapat meningkatkan produktivitas dan efektivitas biaya dari proses fabrikasi semikonduktor tingkat lanjut.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan