Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan.
Tantalum karbida (TaC) merupakan senyawa yang terdiri dari tantalum dan karbon. Ia memiliki konduktivitas listrik logam dan titik leleh yang sangat tinggi, menjadikannya bahan keramik tahan api yang dikenal karena kekuatan, kekerasan, serta ketahanan terhadap panas dan aus. Titik leleh Tantalum Karbida mencapai puncaknya sekitar 3880°C tergantung pada kemurniannya dan merupakan salah satu titik leleh tertinggi di antara senyawa biner. Hal ini menjadikannya alternatif yang menarik ketika tuntutan suhu yang lebih tinggi melebihi kemampuan kinerja yang digunakan dalam proses epitaksi semikonduktor majemuk seperti MOCVD dan LPE.
Data material Lapisan Semicorex TaC
|
Proyek |
Parameter |
|
Kepadatan |
14,3 (gram/cm³) |
|
Emisivitas |
0.3 |
|
KTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Kekerasan (HK) |
2000 |
|
Resistansi (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Stabilitas Termal |
<2500℃ |
|
Perubahan Dimensi Grafit |
-10~-20um (nilai referensi) |
|
Ketebalan Lapisan |
≥20um nilai tipikal (35um±10um) |
|
|
|
|
Di atas adalah nilai-nilai tipikal |
|
Cincin Tantalum Karbida Berpori Semicorex adalah komponen tahan api berkinerja tinggi yang dirancang khusus untuk proses Pengangkutan Uap Fisik (PVT) pertumbuhan kristal Silikon Karbida (SiC), menampilkan struktur sinter monolitik yang menawarkan stabilitas termal luar biasa dan permeabilitas gas terkontrol.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSusceptor wafer grafit berlapis Semicorex TaC adalah komponen mutakhir yang biasanya diterapkan untuk mendukung dan memposisikan wafer semikonduktor secara stabil selama proses epitaksi semikonduktor tingkat lanjut. Memanfaatkan teknologi produksi tercanggih dan pengalaman manufaktur yang matang, Semicorex berkomitmen untuk memasok susceptor wafer grafit berlapis TaC yang dirancang khusus dengan kualitas terdepan di pasar bagi pelanggan kami yang berharga.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex CVD TaC Coated Susceptors adalah susceptor grafit berkinerja tinggi dengan lapisan TaC yang padat, dirancang untuk memberikan keseragaman termal yang sangat baik dan ketahanan terhadap korosi untuk proses pertumbuhan epitaksi SiC yang menuntut. Semicorex menggabungkan teknologi pelapisan CVD canggih dengan kontrol kualitas yang ketat untuk menghasilkan susceptor rendah kontaminasi yang tahan lama dan dipercaya oleh produsen epi SiC global.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin pemandu berlapis semicorex tantalum karbida adalah komponen cincin berkinerja tinggi yang digunakan dalam peralatan pertumbuhan kristal semikonduktor. Mereka dirancang khusus untuk menciptakan gradien suhu yang sesuai dan lingkungan aliran udara yang stabil selama pertumbuhan kristal. Dengan memilih cincin pemandu berlapis semicorex tantalum karbida, Anda akan mendapatkan keuntungan dari teknologi pelapisan yang tak tertandingi serta pengalaman produksi yang sangat efisien dan stabil.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanWadah Grafit Berlapis TaC Semicorex dibuat dengan grafit pelapis Tantalum Carbide melalui metode CVD, yang merupakan material yang paling cocok diterapkan dalam proses pembuatan semikonduktor. Semicorex adalah perusahaan yang secara konsisten berspesialisasi dalam pelapisan keramik CVD dan menawarkan solusi material terbaik di industri semikonduktor.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanKomponen Dilapisi Semicorex TaC dalam Pertumbuhan Epitaxial adalah bagian mesin berharga yang terletak di saluran masuk udara dalam proses epitaxial dalam semikonduktor. Semicorex adalah perusahaan terkemuka yang berspesialisasi dalam teknologi pelapisan CVD TaC di Tiongkok, dan mengekspor produk ke seluruh dunia.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan