Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus karbida tantalum melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan.
Tantalum karbida (TaC) adalah senyawa yang terdiri dari tantalum dan karbon. Ini memiliki konduktivitas listrik logam dan titik leleh yang sangat tinggi, menjadikannya bahan keramik tahan api yang dikenal karena kekuatan, kekerasan, dan ketahanan panas dan ausnya. Titik leleh Tantalum Carbides memuncak pada sekitar 3880°C bergantung pada kemurniannya dan memiliki salah satu titik leleh tertinggi di antara senyawa biner. Ini membuatnya menjadi alternatif yang menarik ketika permintaan suhu yang lebih tinggi melebihi kemampuan kinerja yang digunakan dalam proses epitaxial semikonduktor majemuk seperti MOCVD dan LPE.
Data material Pelapis TAC Semicorex
Proyek |
Parameter |
Kepadatan |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivitas |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kekerasan (HK) |
2000 |
Perlawanan (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Stabilitas Termal |
<2500â |
Perubahan Dimensi Grafit |
-10~-20um (nilai referensi) |
Ketebalan Lapisan |
â¥20um nilai khas (35um±10um) |
|
|
Di atas adalah nilai-nilai khas |
|
Semicorex TaC Coating Chuck, chuck vakum mutakhir yang dilengkapi dengan lapisan TaC, dirancang khusus untuk tungku semikonduktor. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanAnda dapat yakin untuk membeli Pelat Epitaksi Lapisan TaC dari pabrik kami. Pelat epitaksi pelapis Semicorex TaC (Tantalum Carbide) menawarkan ketahanan panas yang luar biasa, sehingga ideal untuk aplikasi yang terkena suhu tinggi. Kemampuannya yang luar biasa dalam menahan panas memastikan daya tahan dan keandalan dalam lingkungan yang menuntut. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex TaC Coated Plate adalah cakram khusus yang dirancang untuk digunakan dalam proses epitaksi SiC, dibuat dengan presisi dari bahan grafit berkualitas tinggi. Permukaannya dilapisi dengan cermat dengan tantalum karbida (TaC), senyawa yang terkenal dengan kemurnian dan kekuatannya yang luar biasa. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex TaC Coating Jig berdiri sebagai komponen penting dalam proses manufaktur semikonduktor, dibuat dengan cermat dari grafit dan diperkaya dengan lapisan lapisan tantalum karbida yang tangguh. Elemen peralatan penting ini mewujudkan perpaduan ilmu material mutakhir dan teknik presisi, yang dirancang untuk memenuhi tuntutan operasional yang ketat dan standar ketat yang lazim dalam fabrikasi semikonduktor. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex TaC Coating Susceptor mewakili puncak dalam rekayasa material, dibuat dengan cermat dari grafit berkualitas tinggi dan diperkaya dengan lapisan tantalum karbida. Terutama dirancang untuk digunakan dalam pertumbuhan kristal SiC dan proses epitaksi SiC, komponen inovatif ini berdiri sebagai mercusuar dalam ketahanan dan kinerja dalam lingkungan termal dan kimia yang ekstrem. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Dilapisi Semicorex Tantalum Carbide adalah komponen penting yang digunakan dalam pemrosesan semikonduktor. Ini dirancang dengan lapisan khusus yang memiliki berbagai fungsi untuk meningkatkan efisiensi dan umur panjang komponen grafit dalam mesin semikonduktor. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan