Tutup ruang digunakan untuk menciptakan lingkungan yang bersih, inert, dan terlindungi di ruang pengendapan, sehingga ruang tersebut terkena plasma dan suhu tinggi selama proses pengendapan atau pengetsaan. Tutup ruang semicorex adalah komponen keramik tahan lama yang dilapisi silikon karbida menggunakan metode deposisi uap kimia (CVD), sangat cocok untuk bertahan di lingkungan yang menantang ini.