Cincin fokus atau cincin tepi dirancang untuk meningkatkan keseragaman etsa di sekitar tepi atau perimeter wafer.
Cincin fokus semicorex dilapisi silikon karbida menggunakan deposisi uap kimia (CVD) memberikan ketahanan panas yang unggul, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten, dan ketahanan kimia yang tahan lama, yang dibuat untuk tahan terhadap lingkungan ekstrem dalam proses etsa plasma atau etsa kering .
Semicorex SiC Focus Ring adalah komponen cincin silikon karbida dengan kemurnian tinggi yang dirancang untuk mengoptimalkan distribusi plasma dan keseragaman proses wafer dalam manufaktur semikonduktor. Memilih Semicorex berarti memastikan kualitas yang konsisten, rekayasa material yang canggih, dan kinerja yang andal yang dipercaya oleh pabrik semikonduktor terkemuka di seluruh dunia.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan