Cincin fokus atau cincin tepi dirancang untuk meningkatkan keseragaman etsa di sekitar tepi atau perimeter wafer.
Cincin fokus semicorex adalah silikon karbida yang dilapisi menggunakan deposisi uap kimia (CVD) memberikan ketahanan panas yang unggul, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten, dan ketahanan kimia yang tahan lama, yang dibangun untuk menahan lingkungan ekstrem dalam proses etsa plasma atau etsa kering .
Cincin fokus tahan lama Semicorex untuk pemrosesan semikonduktor dirancang untuk tahan terhadap lingkungan ekstrem ruang etsa plasma yang digunakan dalam pemrosesan semikonduktor. Cincin fokus kami terbuat dari grafit dengan kemurnian tinggi yang dilapisi dengan lapisan silikon karbida (SiC) yang padat dan tahan aus. Lapisan SiC memiliki sifat tahan korosi dan panas yang tinggi, serta konduktivitas termal yang sangat baik. Kami menerapkan SiC dalam lapisan tipis pada grafit menggunakan proses deposisi uap kimia (CVD) untuk meningkatkan masa pakai cincin fokus kami.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin fokus pemrosesan Semicorex Plasma dirancang khusus untuk memenuhi permintaan tinggi pemrosesan etsa plasma di industri semikonduktor. Komponen Pelapisan Karbida Silikon kami yang canggih dan sangat murni dibuat untuk tahan terhadap lingkungan ekstrem dan cocok untuk digunakan dalam berbagai aplikasi, termasuk lapisan silikon karbida dan semikonduktor epitaksi.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Fokus SiC dengan kemurnian tinggi dan canggih dari Semicorex dibuat untuk tahan terhadap lingkungan ekstrem di ruang etsa plasma (atau etsa kering). Kami fokus pada industri semikonduktor seperti lapisan silikon karbida dan semikonduktor epitaksi. Produk kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan