Cincin fokus atau cincin tepi dirancang untuk meningkatkan keseragaman etsa di sekitar tepi atau perimeter wafer.
Cincin fokus semicorex dilapisi silikon karbida menggunakan deposisi uap kimia (CVD) memberikan ketahanan panas yang unggul, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten, dan ketahanan kimia yang tahan lama, yang dibuat untuk tahan terhadap lingkungan ekstrem dalam proses etsa plasma atau etsa kering .