Keramik silikon karbida (SiC) adalah bahan keramik canggih yang mengandung silikon dan karbon. Butiran silikon karbida dapat diikat bersama melalui sintering untuk membentuk keramik yang sangat keras. Semicorex memasok keramik silikon karbida khusus sesuai kebutuhan Anda.
Aplikasi
Dengan keramik silikon karbida, sifat material tetap konstan hingga suhu di atas 1.400°C. Modulus Young yang tinggi > 400 GPa memastikan stabilitas dimensi yang sangat baik.
Aplikasi umum untuk komponen silikon karbida adalah teknologi penyegelan dinamis menggunakan bantalan gesekan dan segel mekanis, misalnya pada pompa dan sistem penggerak.
Dengan sifat canggihnya, keramik silikon karbida juga ideal untuk digunakan dalam industri semikonduktor.
Perahu Wafer →
Semicorex Wafer Boat terbuat dari keramik silikon karbida sinter, yang memiliki ketahanan yang baik terhadap korosi dan ketahanan yang sangat baik terhadap suhu tinggi dan guncangan termal. Keramik canggih memberikan ketahanan termal dan daya tahan plasma yang sangat baik sekaligus memitigasi partikel dan kontaminan untuk pembawa wafer berkapasitas tinggi.
Reaksi sinter silikon karbida
Dibandingkan dengan proses sintering lainnya, perubahan ukuran reaksi sintering selama proses densifikasi kecil, dan produk dengan dimensi yang presisi dapat dihasilkan. Namun, keberadaan SiC dalam jumlah besar dalam badan sinter membuat kinerja reaksi keramik SiC yang disinter pada suhu tinggi menjadi lebih buruk.
Silikon karbida sinter tanpa tekanan
Silikon karbida sinter tanpa tekanan (SSiC) adalah keramik berperforma tinggi yang sangat ringan namun keras. SSiC dicirikan oleh kekuatan tinggi, yang hampir konstan bahkan pada suhu ekstrim.
Silikon karbida kristal ulang
Silikon karbida rekristalisasi (RSiC) adalah bahan generasi berikutnya yang dibentuk dengan mencampurkan bubuk kasar silikon karbida dengan kemurnian tinggi dan bubuk halus silikon karbida aktivitas tinggi, dan setelah grouting, sintering vakum pada 2450 ° C untuk mengkristal ulang.
Cakram pengalih gas berlapis Semicorex SiC adalah komponen grafit yang sangat diperlukan yang diterapkan dalam peralatan epitaksi semikonduktor, dirancang khusus untuk mengatur aliran gas reaksi dan mendorong distribusi gas yang seragam di dalam ruang reaksi. Pilih Semicorex, pilih solusi pengalihan gas yang optimal untuk hasil epitaksi wafer berkualitas tinggi.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC Wafer Carrier terbuat dari keramik Silicon Carbide dengan kemurnian tinggi, melalui teknologi cetak 3D, yang berarti dapat menghasilkan komponen permesinan bernilai tinggi dalam waktu singkat. Semicorex dianggap menyediakan produk berkualitas tinggi yang berkualitas kepada pelanggan global kami.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin tanah atas berlapis SiC Semicorex CVD adalah komponen penting berbentuk cincin yang dirancang khusus untuk peralatan etsa plasma canggih. Sebagai pemasok komponen semikonduktor terkemuka di industri, Semicorex berfokus pada penyediaan cincin tanah atas berlapis CVD SiC yang berkualitas tinggi, tahan lama, dan sangat bersih untuk membantu pelanggan kami meningkatkan efisiensi operasional dan kualitas produk secara keseluruhan.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSegel SiC Semicorex adalah komponen permukaan mekanis berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan ketahanan aus yang unggul, stabilitas termal, dan kelembaman kimia universal di lingkungan peralatan berputar yang paling menuntut. Semicorex adalah penyedia material keramik SiC profesional, yang dapat memasok produk berpresisi tinggi untuk pelanggan global.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC Pedestal adalah komponen perangkat keras multi-fungsi berpresisi tinggi yang dirancang untuk memberikan stabilitas termal dan distribusi cairan rumit yang diperlukan untuk sistem reaksi saluran mikro tingkat lanjut. Semicorex berspesialisasi dalam rekayasa dan penyediaan alas SiC dengan kemurnian tinggi sesuai dengan kebutuhan pelanggan.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanChuck pin silikon karbida semicorex adalah perlengkapan adsorpsi vakum berkinerja tinggi yang diproduksi secara presisi dan dirancang khusus untuk mengamankan dan memperbaiki wafer dalam proses fotolitografi dan pengikatan. Memilih Semicorex berarti Anda akan memperoleh solusi adsorpsi optimal untuk membantu meningkatkan hasil dan efisiensi pemrosesan semikonduktor.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan