Chuck wafer semicorex yang terbuat dari lapisan silikon karbida oleh MOCVD memiliki ketahanan pendinginan dan pemanasan cepat yang unggul, ketahanan aus, sifat masa pakai ekstra panjang. Ini adalah bahan yang bagus untuk menahan dan menopang pelat wafer Si untuk berbagai proses selama produksi chip di industri semikonduktor.
● Kekakuan
● Ekspansi termal rendah
● Berat badan rendah