Pelapisan SiC merupakan lapisan tipis pada suseptor melalui proses deposisi uap kimia (CVD). Bahan silikon karbida memberikan sejumlah keunggulan dibandingkan silikon, termasuk 10x kekuatan medan listrik kerusakan, 3x celah pita, yang memberikan bahan tersebut ketahanan suhu dan bahan kimia yang tinggi, ketahanan aus yang sangat baik, serta konduktivitas termal.
Semicorex memberikan layanan yang disesuaikan, membantu Anda berinovasi dengan komponen yang bertahan lebih lama, mengurangi waktu siklus, dan meningkatkan hasil.
Lapisan SiC memiliki beberapa keunggulan unik
Ketahanan Suhu Tinggi: Susceptor berlapis CVD SiC dapat menahan suhu tinggi hingga 1600°C tanpa mengalami degradasi termal yang signifikan.
Ketahanan Kimia: Lapisan silikon karbida memberikan ketahanan yang sangat baik terhadap berbagai bahan kimia, termasuk asam, basa, dan pelarut organik.
Ketahanan Aus: Lapisan SiC memberikan ketahanan aus yang sangat baik pada material, sehingga cocok untuk aplikasi yang melibatkan keausan tinggi.
Konduktivitas Termal: Lapisan CVD SiC memberikan material dengan konduktivitas termal yang tinggi, sehingga cocok untuk digunakan dalam aplikasi suhu tinggi yang memerlukan perpindahan panas yang efisien.
Kekuatan dan Kekakuan Tinggi: Susceptor berlapis silikon karbida memberikan material dengan kekuatan dan kekakuan tinggi, sehingga cocok untuk aplikasi yang membutuhkan kekuatan mekanik tinggi.
Lapisan SiC digunakan dalam berbagai aplikasi
Manufaktur LED: Susceptor berlapis CVD SiC digunakan dalam proses pembuatan berbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV, dan LED UV dalam, karena konduktivitas termal yang tinggi dan ketahanan terhadap bahan kimia.
Komunikasi seluler: Susceptor berlapis CVD SiC adalah bagian penting dari HEMT untuk menyelesaikan proses epitaksi GaN-on-SiC.
Pemrosesan Semikonduktor: Susceptor berlapis CVD SiC digunakan dalam industri semikonduktor untuk berbagai aplikasi, termasuk pemrosesan wafer dan pertumbuhan epitaksi.
Komponen grafit berlapis SiC
Dibuat dengan grafit Silicon Carbide Coating (SiC), pelapisan ini diterapkan dengan metode CVD pada tingkat tertentu grafit kepadatan tinggi, sehingga dapat beroperasi di tungku suhu tinggi dengan suhu lebih dari 3000 °C dalam atmosfer inert, 2200 °C dalam ruang hampa. .
Sifat khusus dan massa material yang rendah memungkinkan laju pemanasan yang cepat, distribusi suhu yang seragam, dan presisi pengendalian yang luar biasa.
Data material Lapisan SiC Semicorex
|
Properti khas |
Satuan |
Nilai-nilai |
|
Struktur |
|
Fase FCC β |
|
Orientasi |
Pecahan (%) |
111 lebih disukai |
|
Kepadatan massal |
gram/cm³ |
3.21 |
|
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
|
Kapasitas Panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
|
Ekspansi termal 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
Modulus Young |
IPK (tikungan 4pt, 1300℃) |
430 |
|
Ukuran Butir |
m |
2~10 |
|
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
|
Kekuatan Felekural |
MPa (RT 4 poin) |
415 |
|
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan Susceptor berlapis CVD SiC merupakan material komposit yang menggabungkan sifat susceptor dan silikon karbida. Bahan ini memiliki sifat unik, termasuk ketahanan terhadap suhu dan bahan kimia yang tinggi, ketahanan aus yang sangat baik, konduktivitas termal yang tinggi, serta kekuatan dan kekakuan yang tinggi. Sifat-sifat ini menjadikannya bahan yang menarik untuk berbagai aplikasi suhu tinggi, termasuk pemrosesan semikonduktor, pemrosesan kimia, perlakuan panas, pembuatan sel surya, dan pembuatan LED.
Susceptor wafer grafit Semicorex 1x2" adalah komponen pembawa berperforma tinggi yang dirancang khusus untuk wafer 2 inci, yang sangat cocok untuk proses epitaksi wafer semikonduktor. Pilih Semicorex untuk kemurnian material terdepan di industri, rekayasa presisi, dan keandalan yang tak tertandingi dalam lingkungan pertumbuhan epitaksi yang menuntut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPelat Grafit berlapis SiC Semicorex adalah pembawa dengan kemurnian tinggi yang dirancang khusus untuk memenuhi kebutuhan epitaksi SiC dan GaN yang ketat, memanfaatkan lapisan Silikon Karbida CVD padat pada substrat grafit isostatik untuk memberikan penghalang termal inert yang stabil secara kimia untuk pemrosesan wafer hasil tinggi. Semicorex memasok produk dan layanan berkualitas untuk pelanggan global.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSusceptor epi-wafer Semicorex SiC yang terbuat dari grafit berlapis SiC dirancang untuk memberikan keseragaman termal dan stabilitas kimia yang luar biasa dalam proses pertumbuhan epitaksi suhu tinggi. Semicorex berkomitmen untuk memberikan produk dengan kualitas terbaik dan layanan terbaik kepada pelanggan di seluruh dunia. Dengan keahlian teknis yang kuat dan kemampuan manufaktur yang andal, kami membantu mitra global mencapai kinerja yang stabil dan nilai jangka panjang.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSusceptor epitaksi berlapis Semicorex SiC adalah komponen penting yang digunakan dalam proses pertumbuhan epitaksi semikonduktor untuk mendukung dan memperbaiki wafer semikonduktor secara stabil. Memanfaatkan kemampuan manufaktur yang matang dan teknologi produksi yang canggih, Semicorex berkomitmen untuk memasok susceptor epitaksi berlapis SiC dengan kualitas terdepan di pasar dan harga bersaing untuk pelanggan kami yang berharga.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSusceptor MOCVD grafit berlapis SiC adalah komponen penting yang digunakan dalam peralatan deposisi uap kimia logam-organik (MOCVD), yang bertanggung jawab untuk menahan dan memanaskan substrat wafer. Dengan manajemen termal yang unggul, ketahanan terhadap bahan kimia, dan stabilitas dimensi, suseptor MOCVD grafit berlapis SiC dianggap sebagai pilihan optimal untuk epitaksi substrat wafer berkualitas tinggi.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanBaki grafit berlapis SiC adalah bagian semikonduktor mutakhir yang memberikan kontrol suhu tepat pada substrat Si dan dukungan stabil selama proses pertumbuhan epitaksi silikon. Semicorex selalu memberikan prioritas utama pada permintaan pelanggan, menyediakan solusi komponen inti yang diperlukan pelanggan untuk produksi semikonduktor berkualitas tinggi.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan