Pembawa etsa PSS (Patterned Sapphire Substrate) digunakan dalam pembuatan perangkat LED. Pembawa etsa PSS berfungsi sebagai substrat untuk pertumbuhan lapisan tipis galium nitrida (GaN) yang membentuk struktur LED, kemudian mengalami proses etsa. Sehingga menuntut material dengan ketahanan panas dan korosi yang tinggi. Pembawa etsa PSS berlapis Semicorex SiC yang dirancang khusus untuk aplikasi peralatan epitaksi yang menuntut ini. Pembawanya dilapisi silikon karbida menggunakan metode CVD, juga memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.