Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Lapisan silikon karbida kami padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus manufaktur semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor serta fabrikasi semikonduktor.
Komponen keramik SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses di semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari suku cadang habis pakai untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti perahu wafer Silicon Carbide, dayung kantilever, tabung, dll untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau proses penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan kimiawi yang keras. Semicorex memasok konstruksi silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Ruang →
Tutup Ruang yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Dayung Kantilever →
Cantilever Paddle adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, khususnya dalam tungku difusi atau LPCVD selama proses seperti difusi dan RTP.
Tabung Proses →
Process Tube adalah komponen penting, dirancang khusus dalam berbagai aplikasi pemrosesan semikonduktor seperti RTP, difusi.
Perahu Wafer →
Wafer Boat digunakan dalam pemrosesan semikonduktor, telah dirancang dengan cermat untuk memastikan wafer halus tetap aman selama tahap kritis produksi.
Cincin Masuk →
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC dengan peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus →
Semicorex memasok cincin fokus Silicon Carbide Coated sangat stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum keramik ultra-datar Semicorex dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Semicorex juga memiliki produk keramik Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirkonia (ZrO2), Keramik Komposit, dll.
Cakram pengalih gas berlapis Semicorex SiC adalah komponen grafit yang sangat diperlukan yang diterapkan dalam peralatan epitaksi semikonduktor, dirancang khusus untuk mengatur aliran gas reaksi dan mendorong distribusi gas yang seragam di dalam ruang reaksi. Pilih Semicorex, pilih solusi pengalihan gas yang optimal untuk hasil epitaksi wafer berkualitas tinggi.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC Wafer Carrier terbuat dari keramik Silicon Carbide dengan kemurnian tinggi, melalui teknologi cetak 3D, yang berarti dapat menghasilkan komponen permesinan bernilai tinggi dalam waktu singkat. Semicorex dianggap menyediakan produk berkualitas tinggi yang berkualitas kepada pelanggan global kami.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin tanah atas berlapis SiC Semicorex CVD adalah komponen penting berbentuk cincin yang dirancang khusus untuk peralatan etsa plasma canggih. Sebagai pemasok komponen semikonduktor terkemuka di industri, Semicorex berfokus pada penyediaan cincin tanah atas berlapis CVD SiC yang berkualitas tinggi, tahan lama, dan sangat bersih untuk membantu pelanggan kami meningkatkan efisiensi operasional dan kualitas produk secara keseluruhan.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSegel SiC Semicorex adalah komponen permukaan mekanis berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan ketahanan aus yang unggul, stabilitas termal, dan kelembaman kimia universal di lingkungan peralatan berputar yang paling menuntut. Semicorex adalah penyedia material keramik SiC profesional, yang dapat memasok produk berpresisi tinggi untuk pelanggan global.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC Pedestal adalah komponen perangkat keras multi-fungsi berpresisi tinggi yang dirancang untuk memberikan stabilitas termal dan distribusi cairan rumit yang diperlukan untuk sistem reaksi saluran mikro tingkat lanjut. Semicorex berspesialisasi dalam rekayasa dan penyediaan alas SiC dengan kemurnian tinggi sesuai dengan kebutuhan pelanggan.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPelat pemoles wafer alumina Semicorex adalah komponen pemoles berperforma tinggi yang terbuat dari keramik alumina, yang dirancang khusus untuk proses pemolesan wafer di industri semikonduktor kelas atas. Memilih Semicorex, pilihlah produk dengan harga hemat biaya, daya tahan luar biasa, dan kinerja pemrosesan yang sangat efisien.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan