Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Lapisan silikon karbida kami padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus manufaktur semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor serta fabrikasi semikonduktor.
Komponen keramik SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses di semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari suku cadang habis pakai untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti perahu wafer Silicon Carbide, dayung kantilever, tabung, dll untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau proses penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan kimiawi yang keras. Semicorex memasok konstruksi silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Ruang →
Tutup Ruang yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Dayung Kantilever →
Cantilever Paddle adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, khususnya dalam tungku difusi atau LPCVD selama proses seperti difusi dan RTP.
Tabung Proses →
Process Tube adalah komponen penting, dirancang khusus dalam berbagai aplikasi pemrosesan semikonduktor seperti RTP, difusi.
Perahu Wafer →
Wafer Boat digunakan dalam pemrosesan semikonduktor, telah dirancang dengan cermat untuk memastikan wafer halus tetap aman selama tahap kritis produksi.
Cincin Masuk →
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC dengan peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus →
Semicorex memasok cincin fokus Silicon Carbide Coated sangat stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum keramik ultra-datar Semicorex dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Semicorex juga memiliki produk keramik Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirkonia (ZrO2), Keramik Komposit, dll.
Tabung oksidasi SIC semikorex adalah komponen berkinerja tinggi yang digunakan dalam tungku tabung SiC untuk pemrosesan termal semikonduktor lanjut. Ini dirancang untuk stabilitas jangka panjang dalam kondisi ekstrem. Pilih Semicorex untuk kemurnian material superior kami, kontrol dimensi yang ketat, dan kualitas produk yang konsisten, membantu Anda mencapai hasil yang optimal dalam setiap proses suhu tinggi.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPelat dasar pemasangan alumina semikorex adalah komponen keramik berkinerja tinggi yang dirancang untuk penanganan wafer yang tepat dalam manufaktur semikonduktor. Kekuatan, isolasi, dan stabilitas termal yang unggul membuatnya ideal untuk menuntut lingkungan otomatisasi ruang bersih.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex silikon karbida vakum chuck adalah solusi penanganan wafer berkinerja tinggi yang dibuat dari silikon karbida berpori. Ini secara khusus direkayasa untuk adsorpsi vakum wafer semikonduktor selama proses kritis seperti pemasangan (waxing), penipisan, de-waxing, pembersihan, dicing, dan anil termal cepat (RTA). Pilih Semicorex untuk kemurnian material yang tidak tertandingi, presisi dimensi, dan kinerja yang andal dalam lingkungan semikonduktor yang menuntut.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Alumina Robot Arm adalah komponen keramik berkinerja tinggi yang dirancang untuk penanganan wafer yang tepat dalam manufaktur semikonduktor. Kekuatan, isolasi, dan stabilitas termal yang unggul membuatnya ideal untuk menuntut lingkungan otomatisasi ruang bersih.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Alumina Ceramic End Effector adalah komponen rekayasa presisi yang dirancang khusus untuk penanganan wafer yang andal dan bebas kontaminasi dalam manufaktur semikonduktor dan aplikasi terkait.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Porous Sic Chuck adalah chuck keramik berkinerja tinggi yang dirancang untuk adsorpsi wafer yang aman dan seragam dalam pemrosesan semikonduktor. Struktur mikro-berpori yang direkayasa memastikan distribusi vakum yang sangat baik, menjadikannya ideal untuk aplikasi presisi.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan