Cina Kepala Pancuran Produsen, Pemasok, Pabrik

Showerhead SiC (silicon carbide) adalah komponen khusus yang digunakan dalam berbagai proses industri, khususnya dalam industri manufaktur semikonduktor. Ini dirancang untuk mendistribusikan dan mengirimkan gas proses secara merata dan tepat selama deposisi uap kimia (CVD) dan proses pertumbuhan epitaxial.

Pancuran berbentuk seperti piringan atau piring dengan beberapa lubang atau nosel yang tersebar merata di permukaannya. Lubang-lubang ini berfungsi sebagai jalan keluar untuk gas proses, memungkinkannya untuk diinjeksikan ke dalam ruang proses atau ruang reaksi. Ukuran, bentuk, dan distribusi lubang dapat bervariasi tergantung pada aplikasi spesifik dan persyaratan proses.

Salah satu keuntungan utama menggunakan pancuran SiC adalah konduktivitas termalnya yang sangat baik. Properti ini memungkinkan perpindahan panas yang efisien dan distribusi suhu yang seragam di seluruh permukaan pancuran, mencegah titik panas dan memastikan kondisi proses yang konsisten. Peningkatan konduktivitas termal juga memungkinkan pendinginan cepat kepala pancuran setelah proses, meminimalkan waktu henti dan meningkatkan produktivitas secara keseluruhan.

Pancuran SiC sangat tahan lama dan tahan terhadap keausan, bahkan di bawah kontak yang terlalu lama dengan gas korosif dan suhu tinggi. Umur panjang ini diterjemahkan ke dalam interval perawatan yang diperpanjang dan pengurangan waktu henti peralatan, menghasilkan penghematan biaya dan keandalan proses yang lebih baik.

Selain ketangguhannya, showerhead SiC menawarkan kemampuan distribusi gas yang sangat baik. Pola dan konfigurasi lubang yang direkayasa dengan tepat memastikan aliran dan distribusi gas yang seragam di atas permukaan substrat, mendorong pengendapan film yang konsisten dan meningkatkan kinerja perangkat. Distribusi gas yang seragam juga membantu meminimalkan variasi dalam ketebalan film, komposisi, dan parameter kritis lainnya, berkontribusi pada peningkatan kontrol proses dan hasil.

Semicorex menawarkan kepala pancuran semikonduktor silikon karbida resistivitas rendah yang disinter. Kami memiliki kemampuan untuk merekayasa kustom dan memasok bahan keramik canggih dengan memanfaatkan berbagai kemampuan unik.