Pembawa RTP Semicorex adalah silikon karbida yang dilapisi menggunakan proses deposisi uap kimia (CVD), yang sangat stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan kimia keras. Inti dari proses semikonduktor, yaitu suseptor epitaksi, terlebih dahulu dikenai lingkungan pengendapan, sehingga memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi. Pembawa berlapis SiC juga memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.
● Grafit berlapis SiC dengan kemurnian tinggi
● Ketahanan panas dan ketahanan kimia yang unggul
● Keseragaman termal yang tinggi
● Ketahanan aus yang sangat baik
Semicorex RTP Ring adalah cincin grafit berlapis SiC yang dirancang untuk aplikasi berkinerja tinggi dalam sistem Rapid Thermal Processing (RTP). Pilih Semicorex karena teknologi material kami yang canggih, memastikan daya tahan, presisi, dan keandalan yang unggul dalam manufaktur semikonduktor.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPelat Pembawa Grafit RTP Semicorex adalah solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer semikonduktor, termasuk pertumbuhan epitaksi dan pemrosesan penanganan wafer. Produk kami dirancang untuk menawarkan ketahanan panas dan keseragaman termal yang unggul, memastikan bahwa suseptor epitaksi terkena lingkungan pengendapan, dengan ketahanan panas dan korosi yang tinggi.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex RTP SiC Coating Carrier menawarkan ketahanan panas dan keseragaman termal yang unggul, menjadikannya solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer semikonduktor. Dengan grafit berlapis SiC berkualitas tinggi, produk ini dirancang untuk tahan terhadap lingkungan pengendapan paling keras untuk pertumbuhan epitaksi. Konduktivitas termal yang tinggi dan sifat distribusi panas yang sangat baik memastikan kinerja yang andal untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier dirancang untuk tahan terhadap kondisi lingkungan pengendapan yang paling berat. Dengan ketahanan panas dan korosi yang tinggi, produk ini dirancang untuk memberikan kinerja optimal untuk pertumbuhan epitaksi. Pembawa berlapis SiC memiliki konduktivitas termal yang tinggi dan sifat distribusi panas yang sangat baik, memastikan kinerja yang andal untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPelat Pembawa RTP Grafit Semicorex SiC untuk MOCVD menawarkan ketahanan panas dan keseragaman termal yang unggul, menjadikannya solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer semikonduktor. Dengan grafit berlapis SiC berkualitas tinggi, produk ini dirancang untuk tahan terhadap lingkungan pengendapan paling keras untuk pertumbuhan epitaksi. Konduktivitas termal yang tinggi dan sifat distribusi panas yang sangat baik memastikan kinerja yang andal untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPelat Pembawa RTP Dilapisi Semicorex SiC untuk Pertumbuhan Epitaxial adalah solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer semikonduktor. Dengan suseptor grafit karbon berkualitas tinggi dan cawan lebur kuarsa yang diproses oleh MOCVD pada permukaan grafit, keramik, dll., produk ini ideal untuk penanganan wafer dan pemrosesan pertumbuhan epitaksi. Pembawa berlapis SiC memastikan konduktivitas termal yang tinggi dan sifat distribusi panas yang sangat baik, menjadikannya pilihan yang dapat diandalkan untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan