Selama pemrosesan, wafer semikonduktor harus dipanaskan dalam tungku khusus. Reaktor terdiri dari tabung silinder memanjang, di mana wafer diposisikan di perahu wafer pada jarak yang telah ditentukan sebelumnya, dengan jarak yang sama. Untuk bertahan dari kondisi pemrosesan di dalam ruangan, dan untuk meminimalkan limbah ke wafer dari peralatan pemrosesan, perahu wafer, dan banyak lagi perangkat lain yang digunakan dalam pemrosesan wafer dibuat dari bahan seperti silikon karbida (SiC).
Perahu-perahu itu, yang diisi dengan sekumpulan wafer untuk diproses, ditempatkan pada dayung kantilever panjang, yang dengannya dapat dimasukkan ke dalam dan ditarik dari tungku tabung dan reaktor. Dayung termasuk bagian pembawa yang diratakan di mana satu atau lebih perahu dapat diposisikan, dan pegangan panjang, yang ditempatkan di salah satu ujung bagian pembawa yang diratakan, dimana dayung dapat ditangani.
Dayung kantilever direkomendasikan untuk menggunakan silikon karbida rekristalisasi dengan lapisan tipis CVD SiC, yang merupakan kemurnian tinggi dan pilihan terbaik untuk komponen dalam pemrosesan semikonduktor.
Semicorex dapat menyediakan layanan penyesuaian sesuai dengan gambar dan lingkungan kerja.
Semicorex SiC (Silicon Carbide) Cantilever Paddle adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, khususnya dalam tungku difusi atau LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition) selama proses seperti difusi dan RTP (Rapid Thermal Processing). SiC Cantilever Paddle berfungsi untuk membawa wafer semikonduktor dengan aman di dalam tabung proses selama berbagai proses suhu tinggi seperti difusi dan RTP. Ini berfungsi untuk mendukung dan mengangkut wafer di dalam tabung proses tungku ini. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanDayung kantilever silikon karbida semicorex adalah komponen khusus yang digunakan dalam tungku untuk berbagai aplikasi pemrosesan termal. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanGaya pemuatan wafer yang besar silikon karbida Paddle kantilever keramik SiC cocok untuk sistem pemuatan dan penanganan robot otomatis karena memiliki kinerja yang stabil, non-deformasi pada suhu tinggi dan gaya pemuatan wafer yang besar. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan