Selama pemrosesan, wafer semikonduktor harus dipanaskan dalam tungku khusus. Reaktor terdiri dari tabung silinder memanjang, di mana wafer ditempatkan pada perahu wafer pada jarak yang telah ditentukan dan sama. Untuk bertahan dalam kondisi pemrosesan di dalam ruangan, dan untuk meminimalkan limbah ke wafer dari peralatan pemrosesan, perahu wafer dan banyak lagi perangkat lain yang digunakan dalam pemrosesan wafer dibuat dari bahan seperti silikon karbida (SiC).
Perahu-perahu tersebut, yang diisi dengan sejumlah wafer untuk diproses, ditempatkan pada dayung kantilever yang panjang, yang dengannya wafer dapat dimasukkan ke dalam dan dikeluarkan dari tungku tubular dan reaktor. Dayung tersebut mencakup bagian pengangkut yang diratakan di mana satu atau lebih perahu dapat ditempatkan, dan pegangan panjang, yang ditempatkan di salah satu ujung bagian pengangkut yang diratakan, yang dapat digunakan untuk memegang dayung.
Dayung kantilever direkomendasikan untuk menggunakan silikon karbida rekristalisasi dengan lapisan tipis CVD SiC, yang memiliki kemurnian tinggi dan pilihan terbaik untuk komponen dalam pemrosesan semikonduktor.
Semicorex dapat memberikan layanan penyesuaian sesuai dengan gambar dan lingkungan kerja.
Semicorex High Purity SiC Cantilever Paddle dibuat dari keramik SiC sinter dengan kemurnian tinggi, yang merupakan bagian struktural dalam tungku horizontal di semikonduktor. Semicorex adalah perusahaan berpengalaman yang memasok komponen SiC di industri semikonduktor.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC Ceramic Paddle adalah komponen kantilever dengan kemurnian tinggi yang dirancang untuk tungku semikonduktor suhu tinggi, terutama digunakan dalam proses oksidasi dan difusi. Memilih Semicorex berarti mendapatkan akses ke solusi keramik canggih yang menjamin stabilitas, kebersihan, dan daya tahan luar biasa untuk aplikasi penanganan wafer yang penting.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC Paddles adalah lengan kantilever silikon karbida dengan kemurnian tinggi yang dirancang untuk pengangkutan wafer dalam tungku oksidasi dan difusi suhu tinggi di atas 1000℃. Memilih Semicorex berarti memastikan kualitas material yang luar biasa, rekayasa presisi, dan keandalan jangka panjang yang dipercaya oleh pabrik semikonduktor terkemuka.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan