Bagian keramik semikonduktor

Suku cadang keramik semikonduktor milik keramik canggih dan merupakan bagian yang sangat diperlukan dari proses pembuatan semikonduktor. Bahan baku untuk persiapan biasanya bahan-bahan anorganik ultra-halus, seperti aluminium oksida, silikon karbida, aluminium nitrida, silikon nitrida, yttrium oksida, zirkonium oksida, dll.

Aluminium oksida

Ini banyak digunakan, dan kinerja produk bervariasi sesuai dengan kemurnian. Puritas 95% berwarna kuning muda, dan kemurnian 99% adalah putih salju. Ini memiliki kekakuan, kekuatan, ketahanan aus, ketahanan suhu tinggi dan ketahanan korosi, dan dapat digunakan untuk menyiapkan sebagian besar bagian keramik semikonduktor, seperti nozel keramik, lengan keramik, dll.

Silikon karbida

Warnanya hitam, memiliki konduktivitas termal yang tinggi, kekuatan dan kekerasan tinggi, bobot ringan, ketahanan guncangan yang baik, dan sering digunakan untuk menyiapkan lengan vakum dan cangkir hisap vakum.

Aluminium nitrida

Ini memiliki konduktivitas termal yang tinggi, koefisien ekspansi termal yang cocok dengan silikon, konstanta dielektrik rendah dan kehilangan dielektrik, dan dapat digunakan untuk membuat substrat disipasi panas, nozel keramik, dll.

Silikon nitrida

Titik leleh yang tinggi, kekerasan ultra-tinggi, inertness kimia tinggi, koefisien ekspansi termal rendah, konduktivitas termal yang tinggi, ketahanan guncangan termal yang baik, ketahanan dan kekuatan dampak tinggi di bawah 1.200 ℃, sering digunakan untuk membuat substrat keramik, tabung keramik, dll.

Yttrium oksida

Titik leleh yang tinggi, stabilitas kimia dan fotokimia yang baik, konduktivitas termal tinggi, transmitansi cahaya yang baik, sering dikombinasikan dengan alumina untuk membuat jendela keramik.

Zirkonium oksida

Kekuatan mekanik yang tinggi, resistensi suhu tinggi, resistensi asam dan alkali, isolasi yang baik, menurut konten yang berbeda dapat dibuat dari produk keramik untuk tujuan yang berbeda, seperti substrat sirkuit terintegrasi, dll.

Jenis Bagian:

Bagian-bagian keramik semikonduktor "serba guna" dengan fungsi yang berbeda banyak digunakan dalam berbagai jenis peralatan utama semikonduktor, terutama termasuk yang berikut:

Lengan keramik semikonduktor

Berperan dalam peralatan semikonduktor saat mengangkut wafer, dan perlu bekerja di lingkungan yang bersih. Biasanya disiapkan dengan alumina dengan kemurnian tinggi atau silikon karbida, alumina hemat biaya dan lebih banyak digunakan.

Substrat Keramik

Diterapkan di berbagai bidang pengemasan elektronik, seperti perangkat elektronik daya, laser, dll., Dan sering disiapkan dengan bahan seperti alumina dan silikon nitrida.

Nosel keramik

Dalam HDP-CVD, kualitasnya mempengaruhi kemurnian dan laju aliran gas reaksi. Keramik aluminium nitrida lebih cocok untuk peralatan proses canggih karena kinerjanya yang sangat baik.

Jendela Keramik

Ini adalah komponen kunci dari etcher semikonduktor. Ini dapat disegel vakum tanpa mempengaruhi penetrasi plasma. Biasanya terbuat dari alumina dengan kemurnian tinggi dan yttrium oksida.

Penutup Ruang Keramik

Ini adalah komponen kunci dari peralatan deposisi film tipis, yang sangat penting untuk memastikan kualitas wafer dan penyegelan ruang reaksi.

Chuck vakum keramik

Ini digunakan untuk memposisikan dan menjepit wafer silikon. Ini adalah keramik berpori yang terbuat dari dua bahan keramik.

Proses persiapan:

Proses persiapan bagian keramik semikonduktor "keahlian" rumit, terutama termasuk langkah -langkah berikut:

Persiapan bubuk

Bahan baku perlu diproses ulang, dan bubuk mentah yang memenuhi persyaratan diperoleh melalui batching, penggilingan bola mekanis, pengeringan semprot dan proses lainnya.

Cetakan bubuk

Penekanan kering, penekanan isostatik, casting pita, cetakan injeksi, cetakan injeksi gel dan metode lain biasanya digunakan untuk membuat bubuk menjadi tubuh hijau keramik.

Sintering suhu tinggi

Tubuh hijau keramik diubah menjadi tubuh yang matang padat melalui sintering tekanan normal, sintering vakum, sintering atmosfer dan metode lainnya.

Pemesinan presisi

Tubuh yang dimasak keramik yang disinter diproses dengan mesin bubut CNC, penggiling, dll. Untuk mencapai ukuran dan presisi yang diperlukan.

Inspeksi Kualitas

Penampilan, ukuran, porositas, kekasaran, dan sifat -sifat lain dari suku cadang keramik diuji untuk memastikan kualitas produk.

Perawatan permukaan

Permukaan produk yang lulus inspeksi kualitas dibersihkan, dan perlakuan permukaan lebih lanjut diperlukan untuk kebutuhan khusus, seperti penyemprotan busur, penyemprotan plasma, dll.

Semicorex menawarkan berkualitas tinggiBagian Keramikdi semikonduktor. Jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Hubungi Telepon # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com