Memperkenalkan materi alumina

Keramik AluminaKomponen memiliki sifat yang sangat baik seperti kekerasan tinggi, kekuatan mekanik tinggi, ketahanan aus super, resistensi suhu tinggi, resistivitas tinggi, dan kinerja isolasi listrik yang baik. Mereka dapat memenuhi persyaratan kinerja kompleks manufaktur semikonduktor di lingkungan khusus seperti vakum dan suhu tinggi. Mereka memainkan peran yang tak tergantikan dan penting dalam jalur produksi manufaktur semikonduktor. Aplikasi mereka mencakup hampir semua peralatan manufaktur semikonduktor dan merupakan komponen utama peralatan produksi semikonduktor. Dengan pengembangan berkelanjutan industri semikonduktor, pentingnya komponen keramik alumina dalam rantai industri akan menjadi lebih menonjol.

Ketika ukuran fitur chip berkurang, peralatan semikonduktor memiliki persyaratan yang lebih ketat pada komponen, dan kepadatannya, keseragaman, ketahanan korosi, dll. Diperlukan lebih tinggi. Dalam beberapa tahun terakhir, para sarjana domestik dan asing telah mengembangkan berbagai proses baru untuk meningkatkan kondisi sintering bahan keramik alumina, sehingga mereka dapat mencapai kepadatan material yang cepat pada suhu sintering yang lebih rendah, seperti sintering suhu tinggi, sintering sintering, dan sintering sintering yang menempel pada sintering. Di antara mereka, sintering dingin adalah menambahkan pelarut sementara ke bubuk dan memberikan tekanan besar (350 ~ 500MPa) untuk meningkatkan penataan ulang dan difusi antara partikel, sehingga bubuk keramik dapat disinter dan dipadatkan pada suhu yang lebih rendah (120 ~ 300 ℃) dan waktu yang lebih singkat.

Saat ini, proses pembuatan sirkuit terintegrasi global telah berkembang menjadi proses yang lebih maju di tingkat 3-nanometer. Peralatan semikonduktor dan komponen presisi peralatan semikonduktor harus terus dikembangkan dan ditingkatkan, dan perbaikan proses harus dilakukan untuk memenuhi kebutuhan manufaktur hilir. Setelah peralatan semikonduktor diperbarui, persyaratan spesifik peralatan baru untuk komponen akan berubah secara serempak. Dengan pengembangan teknologi semikonduktor, persyaratan kinerja untuk komponen keramik alumina semakin tinggi dan lebih tinggi, termasuk ketahanan aus yang lebih tinggi, resistensi suhu tinggi, dan isolasi listrik yang lebih baik. Tren industri cenderung mengembangkan kemurnian yang lebih tinggi, bahan bubuk alumina struktur yang lebih halus, dan mengadopsi teknologi persiapan canggih.

Keramik AluminaMemiliki persyaratan kemurnian yang sangat tinggi ketika digunakan di bidang semikonduktor, umumnya lebih besar dari 99,5%. Di bidang semikonduktor, bagian keramik alumina adalah salah satu bagian penting dari peralatan semikonduktor. Sebagian besar dari mereka digunakan di kamar yang lebih dekat dengan wafer. Dalam peralatan semikonduktor, mereka diklasifikasikan berdasarkan penggunaan dan terutama dibagi menjadi silinder annular, panduan aliran udara, gasket yang dipenuhi dengan tangan, gasket, modul, dll.

Dalam proses etsa, untuk mengurangi kontaminasi wafer selama etsa plasma, pelapis alumina dengan kemurnian tinggi atau keramik alumina dengan ketahanan korosi yang kuat dipilih sebagai bahan pelindung untuk ruang etsa dan pelapis kamar.

Dalam proses pembersihan plasma, gas korosif yang mengandung elemen halogen yang sangat reaktif seperti fluor dan klorin digunakan. Nozzle gas biasanya terbuat dari keramik alumina, yang diperlukan untuk memiliki resistensi plasma tinggi, kekuatan dielektrik, dan ketahanan korosi yang kuat untuk memproses gas dan produk sampingan. Pada saat yang sama, struktur lubang presisi internal digunakan untuk secara akurat mengontrol aliran gas.

Dalam proses pembuatan semikonduktor, wafer dapat menjalani perawatan suhu tinggi, seperti etsa, implantasi ion, dll. Sebagai pembawa untuk transmisi wafer, pembawa wafer alumina dapat memastikan stabilitas dan keamanan wafer selama proses transmisi. Pengangkut wafer alumina memiliki konduktivitas termal yang baik dan secara efektif dapat membubarkan dan mengekspor panas yang dihasilkan oleh wafer, sehingga melindungi wafer dari kerusakan termal.

Dalam penanganan wafer, lengan robot keramik yang terbuat dari keramik alumina akan digunakan. Ini akan dipasang pada robot penanganan wafer, yang setara dengan tangan robot. Ini bertanggung jawab untuk membawa wafer ke lokasi yang ditentukan, dan permukaannya bersentuhan langsung dengan wafer. Karena wafer sangat rentan terhadap kontaminasi oleh partikel lain, mereka umumnya dilakukan dalam lingkungan vakum. Dalam lingkungan ini, lengan robot dari sebagian besar bahan umumnya sulit untuk menyelesaikan pekerjaan. Bahan-bahan yang digunakan untuk membuat lengan robot harus tahan terhadap suhu tinggi, tahan keausan, dan memiliki kekerasan tinggi. Karena persyaratan kondisi kerja, mereka umumnya terbuat dari bahan keramik alumina yang sangat tinggi, dan keakuratan dan kekasaran permukaan bagian keramik perlu dijamin.

Semicorex menawarkan berkualitas tinggiBagian Keramik Aluminadi semikonduktor, termasuk pelapis SiC dan pelapis TAC. Jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Hubungi Telepon # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com