Pemanas grafit yang dilapisi konduktif

Itupemanas grafit yang dilapisi konduktifadalah produk baru yang dirancang untuk pemrosesan semikonduktor suhu tinggi dan sistem termal vakum lainnya. Ini menggunakan stabilitas termal yang baik dari grafit kemurnian tinggi dan karakteristik permukaan yang sangat baik dari lapisan silikon karbida (sic). Pemanas grafit yang dilapisi konduktif selanjutnya dibedakan dengan lapisan SiC yang didoping nitrogen yang menawarkan konduktivitas permukaan yang sangat ditingkatkan, menjadikannya sangat cocok untuk aplikasi yang perlu dikendalikan dan bahkan pemanasan dengan kinerja listrik yang hebat.

Pemanas dibangun dengan substrat grafit berkekuatan tinggi, yang bertindak sebagai konduktor struktural dan termal inti. Grafit dipilih, secara khusus diberi tingkat konduktivitas termal yang tinggi, koefisien ekspansi termal rendah dan ketahanan terhadap guncangan termal. Karakteristik ini menjadikan grafit bahan dasar yang cocok dalam aplikasi proses suhu tinggi di mana mungkin ada siklus pemanasan dan pendinginan yang cepat. Namun, grafit murni itu sendiri secara kimiawi reaktif di atmosfer tertentu dan dapat mengalami kerusakan permukaan atau degradasi, emisi partikel, atau carryover selama penggunaan yang diperpanjang, terutama di lingkungan ruang bersih semikonduktor.

Untuk mengatasi keterbatasan ini, bagian grafit dilapisi dengan lapisan SIC yang tebal dan tinggi. Lapisan SIC melayani banyak fungsi: ini memberikan tingkat perlindungan terhadap oksidasi dan korosi kimia, ini memberikan permukaan yang sangat keras dan tahan aus, dan memastikan kompatibilitas dengan standar ruang hampa dan ruang bersih. SIC memiliki reputasi untuk kekerasan ekstrem, konduktivitas termal yang tinggi, dan inertness kimia; Karena alasan ini, ini adalah bahan pelapis yang sangat baik untuk komponen termal berkinerja tinggi.

Inovasi unik dari produk ini adalah doping nitrogen dari lapisan SIC. Selama proses pengendapan uap kimia (CVD), atom nitrogen tertanam ke dalam kisi SIC, menghasilkan pembawa bebas, yang secara dramatis dapat mengurangi resistivitas permukaannya, dan karenanya menciptakan lapisan permukaan konduktif dan memungkinkan arus untuk dilewati secara langsung, daripada menggunakan titik akses, melalui lapisan SIC, sehingga memungkinkan seluruh grafik component untuk bertindak sebagai penahanan sebagai penentang sebagai A RESTIVE sebagai Panas.

KlasikPelapis sicbersifat insulatif, yang benar -benar membatasi mereka dalam ruang lingkup aplikasi listrik aktif. Sebaliknya, lapisan SiC yang didoping nitrogen pada pemanas memiliki resistensi permukaan yang sangat rendah sambil tetap mempertahankan semua manfaat mekanis dan kimia dari SIC klasik. Lapisan konduktif memberikan keseragaman arus yang sangat baik dan meminimalkan kehilangan daya sambil meningkatkan distribusi termal pada permukaan pemanas. Ini sangat ideal untuk aplikasi pemanasan presisi dalam kondisi yang sering dikaitkan dengan reaktor epitaxial, tungku difusi, dan peralatan pemrosesan termal cepat (RTP).

Geometri pemanas, biasanya spiral atau serpentine seperti yang ditunjukkan pada gambar, dirancang dan dioptimalkan dengan maksud memproduksi energi output termal yang seragam dan pemuatan listrik yang seragam. Dengan desain terintegrasi grafit dan pelapisan SIC konduktif, kontak listrik dapat dibuat langsung ke permukaan yang dilapisi yang menghilangkan kebutuhan akan elektroda tambahan atau sambungan logam. Ini mengurangi risiko kontaminasi dan menghasilkan perakitan yang lebih sederhana. Akibatnya, efisiensi keseluruhan ditingkatkan.

Manfaat utama dari konduktifPemanas grafit berlapis SICtermasuk:

Konduktivitas listrik yang sangat baik karena doping nitrogen, memungkinkan aliran arus searah dan pemanasan resistif yang efisien.

Keseragaman termal superior dengan kontrol suhu yang tepat di seluruh luas permukaan.

Resistensi kimia yang tinggi, terutama di lingkungan korosif seperti hidrogen, amonia, atau atmosfer yang kaya halogen.

Generasi partikel minimal, memenuhi persyaratan kemurnian yang ketat dari fabrikasi semikonduktor.

Kehidupan layanan yang diperluas, karena daya tahan mekanis dan ketahanan guncangan termal dari inti grafit dan lapisan SiC.

Aplikasi untuk pemanas ini meluas di sejumlah industri teknologi canggih. Pemanas akan menemukan tempat dalam proses pembuatan semikonduktor seperti Deposisi Uap Kimia (CVD), epitaks balok molekul (MBE), dan anil wafer, di mana kontrol suhu yang tepat dan kemurnian bahan sangat penting. Pemanas grafit yang dilapisi SIC juga dapat digunakan dalam produksi fotovoltaik, sintering keramik canggih, dan dalam proses termal lainnya di mana kinerja yang lebih tinggi, daya tahan, dan pemanas yang kuat diperlukan.

Singkatnya, pemanas grafit yang dilapisi SIC konduktif adalah kemajuan yang mengesankan dalam pengembangan komponen termal. Dengan menggunakan lapisan SiC yang didoping nitrogen, kami telah mengembangkan produk termal yang efektif, yang berhasil menggabungkan stabilitas kimia lapisan SIC dengan konduktivitas listrik. Dengan demikian, menghasilkan proses termal yang lebih efisien, lebih bersih, dan lebih dapat diandalkan untuk aplikasi industri yang paling menuntut. Industri semikonduktor dan material menghadapi perubahan berkelanjutan dan bahan hibrida semacam ini akan menjadi semakin penting dalam memungkinkan teknologi yang lebih maju di masa depan untuk manufaktur.

Semicorex menawarkan berkualitas tinggipemanas grafit dengan lapisanproduk. Jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Hubungi Telepon # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com