Apa itu cincin yang di etsa

Dalam pembuatan chip, fotolitografi dan etsa adalah dua langkah yang terkait erat. Fotolitografi mendahului etsa, dimana pola sirkuit dikembangkan pada wafer menggunakan photoresist. Pengetsaan kemudian menghilangkan lapisan film yang tidak ditutupi oleh photoresist, menyelesaikan transfer pola dari masker ke wafer dan mempersiapkan langkah selanjutnya seperti implantasi ion.

Etsa melibatkan penghilangan selektif bahan yang tidak diperlukan menggunakan metode kimia atau fisik. Setelah pelapisan, pelapisan tahan, fotolitografi, dan pengembangan, etsa menghilangkan bahan film tipis yang tidak perlu yang terekspos pada permukaan wafer, hanya menyisakan area yang diinginkan. Kelebihan photoresist kemudian dihilangkan. Mengulangi langkah-langkah ini berulang kali akan menciptakan sirkuit terpadu yang kompleks. Karena pengetsaan melibatkan penghilangan material, hal ini disebut "proses subtraktif".

Karena efek tepi plasma, kepadatannya lebih tinggi di bagian tengah dan lebih rendah di bagian tepinya. Cincin fokus, melalui bentuk melingkar dan sifat material CVD SiC, menghasilkan medan listrik tertentu. Medan ini memandu dan membatasi partikel bermuatan (ion dan elektron) dalam plasma ke permukaan wafer, khususnya di bagian tepinya. Hal ini secara efektif meningkatkan kepadatan plasma di bagian tepi, menjadikannya lebih dekat dengan kepadatan di bagian tengah. Hal ini secara signifikan meningkatkan keseragaman etsa di seluruh wafer, mengurangi kerusakan tepi, dan meningkatkan hasil.

Dalam proses etsa, kami terutama akan menggunakan dua jenis cincin: cincin fokus dan cincin pelindung.

Cincin Fokus

Karena efek tepi plasma, kepadatannya lebih tinggi di bagian tengah dan lebih rendah di bagian tepinya. Cincin fokus, melalui bentuk melingkar dan sifat material CVD SiC, menghasilkan medan listrik tertentu. Medan ini memandu dan membatasi partikel bermuatan (ion dan elektron) dalam plasma ke permukaan wafer, khususnya di bagian tepinya. Hal ini secara efektif meningkatkan kepadatan plasma di bagian tepi, menjadikannya lebih dekat dengan kepadatan di bagian tengah. Hal ini secara signifikan meningkatkan keseragaman etsa di seluruh wafer, mengurangi kerusakan tepi, dan meningkatkan hasil.

Cincin Perisai

Biasanya terletak di luar elektroda, fungsi utamanya adalah untuk memblokir luapan plasma. Tergantung pada strukturnya, ini juga dapat berfungsi sebagai bagian dari elektroda. Bahan umum termasuk CVD SiC atau silikon kristal tunggal.

Semicorex menawarkan kualitas tinggiCVD SiCDanSilikonMengetsa cincin berdasarkan kebutuhan pelanggan. Jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Hubungi telepon #+86-13567891907

Email: penjualan@semicorex.com