Perawatan Permukaan Untuk Chuck Elektrostatis Kelas Atas

Ituchuck elektrostatismelakukan berbagai fungsi seperti pelepasan muatan listrik statis yang seragam, konduksi panas, serta adsorpsi dan fiksasi wafer di bidang manufaktur semikonduktor. Salah satu fungsi inti ESC adalah untuk mengadsorpsi wafer secara stabil dalam kondisi pengoperasian ekstrem seperti vakum tinggi, plasma kuat, dan rentang suhu yang luas.

Yang benar-benar menentukan kinerjanya bukanlah struktur luar atau formula bahan dasar, melainkan proses perawatan permukaan. Tanpa perawatan permukaan profesional, masalah berikut akan ditemui selama pengoperasian:

1. Erosi plasma dan kontaminasi ion logam

Permukaan keramik yang tidak dilindungi rentan terhadap erosi plasma dalam pengaturan proses etsa atau CVD. Jenis erosi ini dapat secara langsung mengakibatkan pelepasan ion logam atau pelepasan partikel keramik, sehingga mengkontaminasi wafer.

2. Konduktivitas termal dan deformasi lengkungan yang tidak merata

Permukaan yang kasar atau perawatan yang buruk menyebabkan kontak yang tidak merata antara wafer dan waferESC, menghambat konduksi panas dan mempengaruhi keseragaman CD.

3. Adsorpsi elektrostatik tidak stabil

Kontrol yang tidak akurat terhadap kinerja insulasi permukaan atau konduktivitas chuck elektrostatis dapat dengan mudah menyebabkan gaya adsorpsi yang tidak mencukupi atau adsorpsi yang berlebihan, yang pada akhirnya secara langsung mempengaruhi hasil pemrosesan wafer.

Permukaan ESC kelas atas sering kali mengadopsi desain struktur multi-lapisan komposit, yang secara tepat mengatur area fungsional melalui pelapisan untuk mencapai integrasi kinerja tinggi yang sesungguhnya.

কোয়ার্টজ ডিফিউশন টিউব

1. Lapisan non-perekat Fluoropolymer (seperti PTFE dan PFA)

Lapisan semacam ini sangat sesuai untuk lingkungan proses bersuhu rendah karena energi bebas permukaannya yang rendah, yang secara efektif mencegah adsorpsi residu fotoresist.

2. Lapisan Karbon Seperti Berlian (DLC).

Dengan kekerasan tinggi, ketahanan plasma, dan koefisien gesekan rendah, bahan ini cocok untuk aplikasi anti erosi dan pelepasan anti partikel pada peralatan etsa.

3. Film keramik konduktif PVD (seperti CrSiN dan TiN)

Jenis pelapis ini dapat membangun jalur konduktif yang stabil di area tertentu, dan dengan demikian secara efektif menghindari masalah akumulasi muatan lokal dengan secara tepat mengontrol pelepasan muatan permukaan yang seragam.

4. Lapisan konduktif termal komposit (seperti bubuk berlian dan lapisan hibrida fluoropolimer)

Lapisan jenis ini menggabungkan kualitas non-perekat dengan konduktivitas termal, dan kinerja keseluruhannya dapat secara tepat sesuai dengan persyaratan aplikasi ESC kontrol termal presisi tinggi.