Chuck Vakum Alumina Berpori

Chuck vakum dihubungkan ke peralatan vakum melalui tabung penghubung. Ketika pencekam vakum bersentuhan dengan benda kerja, seperti bahan wafer/film tipis, peralatan vakum mulai bekerja, menciptakan tekanan negatif di dalam pencekam vakum. Di bawah tekanan atmosfer, benda kerja melekat erat pada pencekam vakum, memungkinkan pemrosesan. Setelah pemrosesan selesai, peralatan vakum berhenti bekerja dan perlahan-lahan mengisi chuck vakum dengan gas, secara otomatis memisahkan benda kerja dari chuck. Ini menyelesaikan penjepitan, pemrosesan, dan penanganan benda kerja.

Tujuan inti fotolitografi semikonduktor adalah untuk "mencetak" miliaran pola rangkaian transistor ke wafer dengan presisi tingkat nanometer. Inti dari "fotolitografi" adalah menggunakan sumber cahaya untuk menyinari fotoresist yang sangat fotosensitif, menyebabkan reaksi kimia yang menggores sirkuit. Namun, ketika sumber cahaya menyinari wafer, sumber cahaya tersebut juga menyinari chuck elektrostatis, yang berfungsi sebagai pembawa wafer. Cahaya sekunder yang dipantulkan yang dihasilkan dapat mengganggu proses fotolitografi sehingga menyebabkan paparan pada area yang tidak diinginkan dan merusak sirkuit. Oleh karena itu, permukaan hitam untuk pencekam vakum meminimalkan pantulan, memastikan persyaratan presisi sistem fotolitografi. Berdasarkan kemampuan ini, alumina hitam dapat digunakan secara luas tidak hanya pada chuck elektrostatik tetapi juga dalam skenario "penekan cahaya". Munculnya era AI telah memungkinkan perkembangan signifikan dalam aplikasi komunikasi optik, dan substrat alumina hitam sering terlihat dalam kemasan perangkat optoelektronik dan elemen pemancar cahaya.

Keramik alumina hitamterutama terbuat dari Al2O3, dengan oksida logam transisi sebagai pewarna dan bahan bantu sintering ditambahkan, disinter pada suhu tertentu. Pewarna adalah komponen penting dari keramik jenis ini, yang menentukan warna akhirnya. Saat memilih pewarna untuk pencekam vakum, penting untuk memastikan tingkat warna, kekuatan mekanik, porositas, dan ukuran pori pencekam vakum.

Saat ini, oksida logam transisi yang umum digunakan sebagai pewarna baik di dalam negeri maupun internasional meliputi Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3, dan MnO2, dengan Fe2O3, CoO, NiO, dan MnO2 menjadi yang paling umum. Karena alumina kurang mudah menguap pada suhu tinggi, sedangkan oksida logam transisi sebaliknya, volatilitasnya meningkat seiring suhu. Oksida ini membentuk senyawa tipe spinel selama sintering suhu tinggi, sehingga mengurangi volatilitasnya. Oleh karena itu, untuk menekan penguapan oksida logam transisi, kondisi proses yang sesuai harus dipilih agar logam tersebut dapat bergabung menjadi senyawa tipe spinel pada suhu yang lebih rendah.

Semicorex menawarkan bea cukaichuck vakum keramik berpori. Jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Hubungi telepon #+86-13567891907

Email: penjualan@semicorex.com