> Berita > berita industri

Semicorex Ceramic diterapkan dalam pemrosesan semikonduktor

● 2026-05-27 ● - ● Tinggalkan aku pesan

Dengan kemajuan teknologi, produk pintar seperti ponsel, komputer, kendaraan listrik, dan robot telah terintegrasi ke dalam kehidupan masyarakat. Produk-produk ini mengandung chip semikonduktor dalam jumlah besar, dan fabrikasi chip memerlukan peralatan semikonduktor, seperti mesin etsa, mesin litografi, dan implanter ion. Membuka perangkat semikonduktor menunjukkan bahwa sebagian besar komponennya adalah bagian keramik. Bagian keramik memiliki sifat yang sangat baik seperti tahan suhu tinggi, tahan korosi, presisi tinggi, dan kekuatan tinggi, sehingga cocok untuk digunakan pada peralatan semikonduktor. Sebagian besar komponen keramik, sebagai komponen kunci dalam proses manufaktur semikonduktor, bersentuhan langsung dengan wafer, memungkinkan kontrol presisi tinggi serta pemanasan dan pendinginan cepat suhu permukaan wafer.

Bagian keramik semikonduktor termasuk dalam keramik tingkat lanjut, dan bahan keramik yang digunakan biasanya meliputi alumina, silikon karbida, aluminium nitrida, silikon nitrida, dan yttrium oksida. Metode pembentukan produk keramik biasanya meliputi pengepresan kering, pengecoran pita, cetakan injeksi, pengepresan isostatik panas, pengepresan isostatik dingin, pengecoran slip, cetakan ekstrusi, pengecoran mati panas, pengecoran gel, dan pengecoran solidifikasi langsung.

1. Pengepresan Kering

Pengepresan kering adalah proses umum untuk pembuatan komponen semikonduktor. Proses ini terutama melibatkan penuangan bubuk butiran dengan distribusi ukuran partikel yang sesuai ke dalam rongga cetakan logam, memberikan tekanan dengan kepala tekanan. Kepala tekanan bergerak di dalam rongga cetakan, mentransfer tekanan ke partikel bubuk dan memadatkannya, akhirnya membentuk blanko keramik dengan bentuk dan kekuatan tertentu.

2. Transmisi

Casting merupakan teknologi wet forming yang mampu menghasilkan blanko keramik dengan ketebalan mulai dari puluhan mikrometer hingga milimeter dalam sekali proses. Bubur keramik dengan viskositas dan dispersi yang baik mengalir dari alur bubur mesin pengecoran ke substrat. Bubur menyebar, dan di bawah tegangan permukaan, terbentuk blanko dengan permukaan atas halus. Benda kerja, bersama dengan media, dikirim ke ruang pengering. Setelah pelarut menguap, pengikat organik membentuk jaringan antar partikel keramik, menghasilkan blanko dengan kekuatan dan fleksibilitas tertentu. Blanko kering dikupas dari substratnya dan digulung untuk digunakan nanti. Pemrosesan lebih lanjut, seperti pemotongan, pengecapan, dan penindikan, diikuti dengan pembakaran, melengkapi proses pembuatan produk.

3. Cetakan Injeksi

Cetakan injeksi adalah teknologi baru untuk pembuatan komponen keramik. Proses produksinya terutama terdiri dari empat tahap: persiapan bahan injeksi, pencetakan injeksi, debinding, dan sintering. Biasanya digunakan untuk memproduksi komponen keramik kecil dengan geometri kompleks dan persyaratan khusus.

4. Penekanan Isostatik

Pengepresan isostatik meliputi pengepresan isostatik panas dan pengepresan isostatik dingin. Pengepresan isostatik dapat meneruskan tekanan dari segala arah, sehingga memastikan pemadatan material lembaran.

1) Proses Pengepresan Isostatik Panas

Metode ini meningkatkan difusi atom pada suhu dan tekanan tinggi, menyebabkan pori-pori keramik bermigrasi ke batas butir atau permukaan benda kerja, sehingga mengurangi atau menghilangkan porositas. Pengepresan isostatik panas menggunakan unit belitan pratekan berdinding tipis, memungkinkan pendinginan yang seragam dan cepat, sehingga meningkatkan efisiensi produksi secara signifikan dibandingkan dengan pendinginan alami.

2) Proses Pengepresan Isostatik Dingin

Metode ini menerapkan 100~600 MPa pada bubuk keramik atau logam pada suhu kamar atau suhu sedikit lebih tinggi (<93℃) untuk mendapatkan "badan hijau", yang kemudian disinter hingga kekuatan akhirnya.

5. Pengecoran Selip

Slip casting adalah metode pencetakan yang umum digunakan dalam produksi keramik skala besar. Ini melibatkan penyuntikan bubur dengan kandungan padat tinggi dan fluiditas yang baik ke dalam cetakan plester berpori. Karena pengisapan kapiler dari cetakan berpori, air diambil dari bubur melalui dinding bagian dalam cetakan, membentuk badan hijau padat di sepanjang dinding cetakan. Setelah tubuh hijau mencapai kekuatan tertentu, ia dapat dibongkar.

6. Cetakan Ekstrusi

Pencetakan ekstrusi melibatkan pencampuran bubuk keramik, tanah liat atau pengikat organik, dan air, pengadukan berulang kali, penghilangan gas vakum, dan penuaan untuk memberikan plastisitas dan keseragaman yang baik pada benda hijau yang diekstrusi. Kemudian, di bawah aksi sekrup ekstrusi atau pendorong, produk tersebut diekstrusi melalui cetakan pada nosel ekstruder untuk mendapatkan bentuk produk yang diinginkan.

7. Pengecoran Tekan Panas

Pengecoran tekan panas terutama memanfaatkan sifat lelehan lilin parafin saat dipanaskan dan mengeras saat didinginkan. Bubuk keramik dan lilin parafin panas dicampur secara merata untuk membentuk bubur yang dapat mengalir. Di bawah tekanan tertentu, bubur disuntikkan ke dalam cetakan logam untuk membentuk badan hijau. Setelah pendinginan dan pemadatan, badan hijau dibongkar dan dibuang. Badan hijau kemudian dipangkas, dewaxed pada suhu tinggi, dan akhirnya disinter untuk menghasilkan produk jadi.

8. Pengecoran Gel

Pengecoran gel melibatkan pendispersian bubuk keramik dalam larutan yang mengandung bahan organik untuk membuat suspensi dengan padatan tinggi. Suspensi ini kemudian disuntikkan ke dalam cetakan dengan bentuk tertentu. Di bawah kondisi katalitik dan suhu tertentu, monomer organik berpolimerisasi, membentuk gel, memadatkan suspensi di tempat, dan mengering, menghasilkan benda hijau dengan kekuatan tinggi.

9. Pengecoran Solidifikasi Langsung

Pengecoran solidifikasi langsung adalah metode baru untuk membentuk struktur koloid seukuran jaring keramik. Metode ini menggabungkan teknologi keramik tradisional dengan teori kimia, menggunakan katalis atau inisiator untuk menyebabkan ikatan silang monomer organik yang ditambahkan ke suspensi, membentuk struktur jaringan yang mengarah pada pemadatan di tempat.