2023-11-10
Dalam industri semikonduktor, kuarsa banyak digunakan, dan produk kuarsa dengan kemurnian tinggi merupakan bahan habis pakai yang lebih penting dalam produksi wafer. Produksi cawan lebur kristal tunggal silikon, perahu kristal, tabung inti tungku difusi, dan komponen kuarsa lainnya harus menggunakan produk kaca kuarsa dengan kemurnian tinggi. Bagian kuarsa di bidang semikonduktor, aplikasi target pasar utama untuk difusi pengecoran wafer dan proses etsa, dapat dibagi menjadi dua kategori perangkat zona suhu tinggi dan perangkat zona suhu rendah, akan menggunakan perangkat utama sebagai berikut:
1) Perangkat zona suhu tinggi terutama oksidasi difusi dan aspek lain dari penggunaan tabung tungku, rak perahu kaca, dll., harus berada di lingkungan bersuhu tinggi, secara langsung atau tidak langsung bersentuhan dengan wafer silikon; terutama pengadaan bahan kaca kuarsa elektrofusi, yang diproduksi melalui pemrosesan termal;
2) Perangkat zona suhu rendah terutama merupakan tautan etsa seperti cincin kuarsa, tetapi juga mencakup keranjang proses pembersihan, tangki pembersih, dll., terutama digunakan di lingkungan bersuhu rendah; terutama membeli kaca kuarsa pemurnian gas, melalui produksi pemrosesan dingin
Diantaranya, perangkat zona suhu tinggi mengonsumsi lebih cepat, namun mirip dengan mesin multi-chip (pembawa yang membawa lebih dari satu wafer), perangkat zona suhu rendah mengonsumsi lebih lambat, namun monolitik (pembawa yang membawa wafer) ; oleh karena itu, kedua ukuran pasar secara keseluruhan relatif berdekatan satu sama lain.