Berbagai aplikasi kuarsa dalam manufaktur semikonduktor

Pada pandangan pertama,bahan kuarsa (SiO2).bentuknya mirip sekali dengan kaca, namun yang istimewa adalah kaca biasa tersusun dari banyak komponen (seperti pasir kuarsa, boraks, asam borat, barit, barium karbonat, batu kapur, feldspar, soda abu, dll), sedangkan kuarsa hanya mengandung SiO2, dan struktur mikronya adalah jaringan sederhana yang terdiri dari unit struktural silikon dioksida tetrahedral.

Karena banyaknya pengotor logam yang terkandung di dalamnyakuarsaSangat kecil dan kemurniannya sangat tinggi, kuarsa sendiri memiliki ciri dan keunggulan yang tidak dapat ditunjukkan oleh kaca lain, dan dikenal sebagai "mahkota" bahan kaca. Misalnya dari segi ketahanan panas, kuarsa tidak akan meledak meskipun langsung dimasukkan ke dalam air setelah dibakar merah di dalam api. Keuntungan yang lebih spesifik adalah sebagai berikut:

1. Tahan suhu tinggi. Titik lembek kaca kuarsa sekitar 1730℃, dapat digunakan dalam waktu lama pada suhu 1150℃, dan suhu maksimum dapat mencapai 1450℃ untuk waktu yang singkat.

2. Ketahanan korosi. Kecuali asam fluorida, kuarsa dengan kemurnian tinggi hampir tidak memiliki reaksi kimia dengan zat asam lainnya. Pada suhu tinggi, dapat menahan korosi dari asam sulfat, asam nitrat, asam klorida, aqua regia, garam netral, karbon dan belerang. Ketahanan asamnya 30 kali lipat dari keramik dan 150 kali lipat dari baja tahan karat. Terutama stabilitas kimianya pada suhu tinggi yang tidak tertandingi oleh bahan rekayasa lainnya.

3. Stabilitas termal yang baik. Kuarsa dengan kemurnian tinggi memiliki koefisien muai panas yang sangat kecil dan dapat menahan perubahan suhu yang drastis. Ketika kuarsa dengan kemurnian tinggi dipanaskan hingga sekitar 1100 °C, kuarsa tersebut tidak akan meledak ketika ditempatkan dalam air bersuhu kamar.

4. Transmisi cahaya yang baik. Kuarsa dengan kemurnian tinggi memiliki transmisi cahaya yang baik di seluruh spektrum dari ultraviolet hingga inframerah, dan transmisi cahaya tampak di atas 93%, terutama di wilayah spektrum ultraviolet, transmisi maksimum dapat mencapai lebih dari 80%.

5. Kinerja isolasi listrik yang baik. Nilai resistansi kuarsa dengan kemurnian tinggi setara dengan 10.000 kali lipat dari kaca kuarsa biasa. Ini adalah bahan isolasi listrik yang sangat baik dan memiliki sifat listrik yang baik bahkan pada suhu tinggi.

Berkat sifat fisik dan kimia yang sangat baik ini, bahan kuarsa dengan kemurnian tinggi banyak digunakan dalam teknologi elektronik modern, semikonduktor, komunikasi, sumber cahaya listrik, energi matahari, instrumen pengukuran pertahanan nasional presisi tinggi, instrumen fisik dan kimia laboratorium, energi nuklir, industri nano, dll. Khususnya, dalam industri semikonduktor yang berkembang pesat, skala wafer silikon telah meningkat, sehingga produsen chip memiliki permintaan yang besar untuk berbagai komponen kuarsa. Namun perlu diperhatikan juga bahwa untuk mencegah kontaminasi selama proses pengolahan, bahan kuarsa harus dipastikan memiliki kemurnian yang tinggi selama penggunaan.

Dalam industri semikonduktor,kuarsabanyak digunakan, dan produk kuarsa dengan kemurnian tinggi merupakan bahan habis pakai yang penting dalam produksi wafer. Bagian kuarsa seperti cawan lebur, perahu kristal, dan tabung inti tungku difusi yang digunakan untuk memproduksi kristal tunggal silikon harus menggunakan produk kaca kuarsa dengan kemurnian tinggi. Sasaran utama penerapan suku cadang kuarsa di bidang semikonduktor adalah proses difusi dan etsa dalam pengecoran wafer. Mereka dapat dibagi menjadi dua kategori: perangkat zona suhu tinggi dan perangkat zona suhu rendah. Perangkat utama yang digunakan adalah sebagai berikut:

1. Perangkat zona suhu tinggi terutama berupa tabung tungku, perahu kaca, dll. yang digunakan dalam oksidasi difusi dan tautan lainnya, yang perlu bersentuhan langsung atau tidak langsung dengan wafer silikon di lingkungan bersuhu tinggi; mereka terutama dibeli dari bahan kaca kuarsa leburan dan diproduksi melalui pemrosesan termal;

2. Perangkat zona suhu rendah terutama mencakup cincin kuarsa yang digunakan dalam proses etsa, serta keranjang bunga dan tangki pembersih yang digunakan dalam proses pembersihan. Mereka terutama digunakan di lingkungan bersuhu rendah. Mereka terutama membeli kaca kuarsa yang dimurnikan dengan gas dan diproduksi melalui pemrosesan dingin.

Semicorex menawarkan kualitas tinggibagian kuarsadi tingkat semikonduktor. Jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Hubungi telepon #+86-13567891907

Email: penjualan@semicorex.com