Pengantar Singkat Tentang Dummy Wafer

Manufaktur semikonduktor tingkat lanjut terdiri dari beberapa langkah proses, termasuk deposisi film tipis, fotolitografi, etsa, implantasi ion, pemolesan mekanis kimia. Selama proses ini, bahkan kesalahan kecil dalam proses dapat berdampak buruk pada kinerja dan keandalan chip semikonduktor akhir. Oleh karena itu, menjaga stabilitas dan konsistensi proses, serta melakukan pemantauan peralatan yang efisien merupakan tantangan yang signifikan. Wafer tiruan adalah alat penting yang membantu mengatasi tantangan ini.

Wafer tiruan adalah wafer yang tidak memiliki sirkuit sebenarnya dan tidak digunakan dalam proses produksi chip akhir. Iniwaferdapat berupa wafer uji kualitas rendah yang baru atau wafer reklamasi. Berbeda dari wafer produk mahal yang digunakan untuk memproduksi sirkuit terpadu, wafer ini biasanya digunakan untuk berbagai hal yang tidak terkait dengan produksi yang penting untuk produksi semikonduktor.

Aplikasi Dummy Wafer

1.Kualifikasi & Tuning Proses

Wafer tiruan biasanya digunakan untuk pengujian sebelum situasi ini guna memastikan stabilitas proses dan kepatuhan kinerja peralatan, seperti sebelum pengoperasian peralatan proses baru, setelah pemeliharaan atau penggantian komponen peralatan yang ada, dan selama pengembangan resep proses baru. Verifikasi kinerja peralatan dan penyesuaian parameter proses yang tepat dapat diselesaikan dengan sukses melalui analisis hasil pemrosesan pada wafer tiruan, yang secara efektif mengurangi hilangnya wafer produk dan mengurangi biaya produksi bagi perusahaan.

2. Pengondisian & Pemanasan Peralatan

Lingkungan ruang pada banyak peralatan proses semikonduktor (misalnya peralatan deposisi uap kimia (CVD), peralatan deposisi uap fisik (PVD), dan mesin etsa) memiliki dampak yang signifikan terhadap hasil pemrosesan. Misalnya, status pelapisan dan distribusi suhu pada dinding bagian dalam ruangan harus mencapai keadaan stabil. Wafer tiruan sering digunakan untuk mengkondisikan ruang proses dan menstabilkan lingkungan internal (misalnya suhu, atmosfer kimia, dan status permukaan) ruang, yang secara efektif mencegah penyimpangan atau cacat proses pada wafer produk batch pertama yang disebabkan oleh peralatan tidak beroperasi pada kondisi optimal.

3. Pemantauan Partikel & Pengendalian Kontaminasi

Manufaktur semikonduktor memiliki persyaratan kebersihan yang sangat tinggi; bahkan kontaminasi partikel kecil pun dapat menyebabkan kegagalan chip. Melalui pemeriksaan partikel yang menempel pada permukaan wafer tiruan yang dimasukkan ke dalam peralatan, kebersihan peralatan dapat dievaluasi. Dengan demikian, wafer produk dapat berhasil dilindungi dari kontaminasi dengan segera mengidentifikasi kemungkinan sumber kontaminasi dan menerapkan prosedur pembersihan atau pemeliharaan.

4. Pengisian Slot untuk Keseragaman Batch

Untuk mencapai aliran gas, distribusi suhu, dan konsentrasi reaktan dalam ruang proses, operasi beban penuh adalah praktik umum dalam peralatan pemrosesan batch seperti tungku difusi, tungku oksidasi, atau tangki pembersih basah. Wafer tiruan digunakan untuk mengisi slot kosong di wadah wafer yang tidak memiliki jumlah wafer produk yang mencukupi, yang dapat mengurangi efek tepi dan memastikan kondisi pemrosesan yang konsisten untuk semua wafer produk, terutama yang terletak di tepi wadah wafer.

5.Stabilisasi Proses Pemolesan Mekanis Kimia (CMP).

Wafer tiruan juga dapat digunakan pada tahap pra-perawatan proses CMP untuk menjaga stabilitas proses. Pengujian pra-pengoperasian dengan wafer tiruan mengoptimalkan kekasaran dan porositas bantalan pemoles, meminimalkan ketidakpastian proses selama fase stabilisasi start-up atau fase transisi sebelum penghentian, dan mengurangi goresan dan cacat wafer yang disebabkan oleh pasokan slurry yang tidak normal dan keausan diafragma kepala.

Semicorex menawarkan hemat biayawafer tiruan SiC. Jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Hubungi telepon #+86-13567891907

Email: penjualan@semicorex.com