Perahu Wafer Silikon Karbida

Dalam manufaktur semikonduktor, oksidasi melibatkan penempatan wafer di lingkungan bersuhu tinggi di mana oksigen mengalir melintasi permukaan wafer untuk membentuk lapisan oksida. Ini melindungi wafer dari kotoran kimia, mencegah arus bocor memasuki sirkuit, mencegah difusi selama implantasi ion, dan mencegah selip wafer selama etsa, sehingga membentuk lapisan pelindung pada permukaan wafer. Peralatan yang digunakan pada langkah ini adalah tungku oksidasi. Komponen utama dalam ruang reaksi meliputi perahu wafer, alas, tabung pelapis tungku, tabung tungku bagian dalam, dan penyekat insulasi panas. Karena suhu pengoperasian yang tinggi, persyaratan kinerja komponen dalam ruang reaksi juga tinggi.

Ituperahu waferdigunakan sebagai pembawa untuk pengangkutan dan pemrosesan wafer. Ini harus memiliki keunggulan seperti integrasi tinggi, keandalan tinggi, sifat anti-statis, tahan suhu tinggi, ketahanan aus, ketahanan terhadap deformasi, stabilitas yang baik, dan masa pakai yang lama. Karena suhu oksidasi wafer kira-kira antara 800℃ dan 1300℃, dan persyaratan kandungan pengotor logam di lingkungan sangat ketat, komponen utama seperti perahu wafer tidak hanya harus memiliki sifat termal, mekanik, dan kimia yang sangat baik, tetapi juga memiliki kandungan pengotor logam yang sangat rendah. Berdasarkan substratnya, mereka dapat dibagi menjadi perahu wafer kuarsa, perahu wafer keramik silikon karbida, dll. Namun, dengan kemajuan node proses di bawah 7nm dan perluasan jendela proses suhu tinggi, perahu kuarsa tradisional secara bertahap menjadi tidak memadai dalam hal stabilitas termal, kontrol partikel, dan manajemen masa pakai. Perahu silikon karbida (SiC) secara bertahap menggantikan larutan kuarsa tradisional.

1. Manufaktur Semikonduktor

Dalam proses pembuatan chip bersuhu tinggi, seperti oksidasi, difusi, deposisi uap kimia (CVD), dan implantasi ion, perahu SiC digunakan untuk mendukung wafer silikon, memastikan bahwa wafer tetap rata pada suhu tinggi dan mencegah ketidakselarasan atau deformasi kisi yang disebabkan oleh tekanan termal, sehingga menjamin presisi dan kinerja chip.

2. Industri Fotovoltaik

Keramik silikon karbida memiliki kekuatan mekanik yang sangat baik, stabilitas termal, ketahanan suhu tinggi, ketahanan oksidasi, ketahanan guncangan termal, dan ketahanan korosi kimia, dan banyak digunakan di bidang populer seperti metalurgi, permesinan, energi baru, dan bahan kimia bahan bangunan. Kinerjanya juga cukup untuk proses termal dalam manufaktur fotovoltaik, seperti difusi, LPCVD (deposisi uap kimia bertekanan rendah), dan PECVD (deposisi uap kimia plasma) untuk sel TOPcon. Dibandingkan dengan bahan kuarsa tradisional, bahan keramik silikon karbida yang digunakan untuk membuat penyangga perahu, perahu kecil, dan produk berbentuk tabung menawarkan kekuatan yang lebih tinggi, stabilitas termal yang lebih baik, dan tidak ada deformasi pada suhu tinggi. Umurnya juga lebih dari lima kali lipat dari kuarsa, sehingga secara signifikan mengurangi biaya pengoperasian dan kehilangan energi akibat waktu henti pemeliharaan. Hal ini menghasilkan keuntungan biaya yang jelas, dan bahan mentah tersedia secara luas.

3. Industri Semikonduktor Generasi Ketiga

Dalam ruang reaksi pengendapan uap kimia organik-logam (MOCVD), perahu silikon karbida digunakan untuk mendukung substrat safir, tahan terhadap lingkungan gas korosif seperti amonia (NH3), mendukung pertumbuhan epitaksi bahan semikonduktor generasi ketiga seperti galium nitrida (GaN), dan meningkatkan efisiensi cahaya dan kinerja chip LED. Dalam pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida, perahu silikon karbida berfungsi sebagai pendukung kristal benih dalam tungku pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida, tahan terhadap lingkungan korosif suhu tinggi dari silikon cair, memberikan dukungan yang stabil untuk pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida, dan mempromosikan persiapan kristal tunggal silikon karbida berkualitas tinggi.

Semicorex memasok keramik SiC berkualitas tinggiperahu wafer. Produk kami dirancang untuk memberikan stabilitas termal yang unggul, masa pakai yang lebih lama, dan konsistensi proses yang luar biasa. Untuk solusi khusus atau informasi teknis tambahan, jangan ragu untuk menghubungi tim teknik kami.

Telepon: +86-13567891907

Email: penjualan@semicorex.com