Cincin Atas Epi 8 Inch

Cincin atas EPI Semicorex 8 inci adalah komponen khusus dari sistem deposisi epitaxial (EPI) yang memberikan kinerja tinggi sebagai cincin penutup atas pada ruang reaksi. Dengan fokus pada integritas struktural dan stabilitas termal selama pertumbuhan epitaxial dari wafer semikonduktor, cincin atas EPI terbuat dari grafit dengan kemurnian tinggi dan dilapisi dengan silikon karbida (SIC) untuk menahan suhu dan lingkungan reaktif kimia dari pembuatan semikonduktor.

Dalam reaktor epitaxial, cincin atas membantu mempertahankan lingkungan wafer dan memainkan peran penting dalam keseragaman suhu dan aliran gas selama pengendapan sebagai bagian dari perakitan kerentanan. Lapisan SiC pada substrat grafit memberikan cincin atas EPI dengan stabilitas termal dan lingkungan inert yang diperlukan untuk melindungi inti grafit karena paparan gas proses selama kinerja cincin atas EPI (hidrogen, silan, clorosilanes, dll.). Kekerasan dan konduktivitas lapisan SIC meningkatkan kinerja cincin atas EPI dengan mencegah degradasi dan memungkinkan untuk lapisan yang lebih stabil di seluruh siklus produksi.

Dengan komitmen terhadap akurasi dimensi, konsistensi pelapisan, dan pengulangan, cincin atas EPI 8 inci diproduksi dengan rekayasa presisi. Substrat grafit dikerjakan untuk toleransi yang kencang dan dimurnikan secara termal untuk memisahkan kotoran, memberikan substrat bersih dengan kemurnian dan kekuatan yang sangat baik. Lapisan SIC diterapkan melalui deposisi uap kimia (CVD), untuk membentuk lapisan pelindung yang padat, konsisten, dan sangat terikat. Proses ini meminimalkan pembuatan partikel dan memungkinkan lapisan untuk mempertahankan integritas permukaan selama penggunaan yang diperpanjang.

Produsen semikonduktor bergantung pada cincin atas EPI untuk mempertahankan parameter ruang kritis dan mendukung wafer bebas cacat selama produksi. Konfigurasi ini dirancang untuk digunakan dengan sistem pemrosesan wafer 8-inci OEM terkemuka. Opsi khusus tersedia untuk ketebalan, lapisan permukaan, dan desain beralur untuk manajemen termal yang lebih baik atau bahkan distribusi gas.

Menyesuaikan sifat -sifat grafit yang dilapisi SiC untuk aplikasi ini mengambil kombinasi yang terbaik dari properti dari kedua bahan; Grafit sangat mudah dikerjakan dan memiliki ketahanan guncangan termal yang dikombinasikan dengan silikon karbida yang lebih keras, tahan korosi, dan memiliki masa pakai yang lebih lama. Kombinasi ini pada akhirnya memberi Anda cincin atas EPI yang dapat diandalkan pada suhu tinggi, dan menjamin lingkungan pemrosesan yang bersih dan stabil yang mengurangi interval pemeliharaan, dan menyediakan uptime peralatan yang ditingkatkan secara keseluruhan.

Komponen grafit memainkan peran yang sangat diperlukan dan penting dalam manufaktur semikonduktor. Kualitas bahan grafit secara signifikan berdampak pada kualitas produk jadi. Konsistensi batch grafit kami dan homogenitas material dikendalikan dan dijamin selama proses produksi.

1. Produksi batch kecil, menggunakan tungku karbonisasi kecil dengan kapasitas hanya 50 meter kubik.

2. Setiap bagian materi dipantau dan dilacak.

3. Pemantauan Temperatur Pada beberapa titik dalam tungku memastikan perbedaan suhu minimal.

4. Pemantauan Tujuan Pada beberapa titik pada material memastikan perbedaan suhu minimal.

Cincin top EPI 8-inci oleh Semicorex menawarkan kinerja luar biasa, konsistensi batch-to-batch, dan keandalan yang terbukti dalam silikon semikonduktor yang paling sulit, silikon karbida atau proses epikonduktor senyawa lainnya. Pada setiap langkah manufaktur, kami memproduksi produk dengan kontrol kualitas, yang berarti setiap produk yang dibeli untuk industri semikonduktor melebihi spesifikasi kualitas.

Pilih Cincin Top EPI 8 Inch Semicorex untuk aplikasi Epitaxy Anda untuk memanfaatkan kemungkinan yang ditawarkan melalui rekayasa presisi, bahan superior, dan kustomisasi khusus aplikasi untuk meningkatkan hasil dan kinerja perangkat.