Lengan Robot Alumina Bernoulli

​Lengan robot terutama diterapkan dalam proses front-end manufaktur semikonduktor seperti fotolitografi dan etsa, di mana mereka secara langsung berpartisipasi dalam penanganan, transfer, dan penempatan wafer semikonduktor. SemicorexaluminaLengan robot Bernoulli adalah efektor akhir keramik yang mencapai adsorpsi dan transfer wafer berdasarkan prinsip Bernoulli, memberikan kinerja luar biasa dalam kebersihan, stabilitas, presisi, efisiensi, dan keandalan.

Adsorpsi Non-Kontak

Lengan robot Semicorex alumina Bernoulli dapat mencapai adsorpsi wafer non-kontak yang kuat dan stabil dengan memanfaatkan konfigurasi dan sistem aliran udara yang dirancang khusus. Metode pengoperasian non-kontak ini dapat menghindari kontak langsung dengan wafer semikonduktor dan sangat mencegah kontaminasi atau kerusakan wafer yang disebabkan oleh kontak fisik, yang terutama sesuai dengan kondisi kerja yang sangat bersih dan transfer wafer yang rumit.

Kinerja Fisika dan Kimia yang Andal

Keramik alumina memiliki kekerasan dan kekuatan yang sangat baik, menjadikan Semicorex alumina Bernoullilengan robotsangat cocok untuk penanganan wafer semikonduktor jangka panjang tanpa deformasi dan kerusakan.

Lengan robot Semicorex alumina Bernoulli juga memberikan ketahanan korosi kimia yang dapat diandalkan dan tahan terhadap gas korosif dan lingkungan pengoperasian plasma yang menantang, menunjukkan daya tahan yang konstan dalam jangka waktu yang lama.

Kontrol kebersihan yang ketat

Lengan robot Semicorex alumina Bernoulli dibuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi melalui pengepresan isostatik presisi dan sintering suhu tinggi. Pemilihan material dan metode pemrosesan yang tepat ini memungkinkan lengan robot Semicorex alumina Bernoulli memiliki struktur keramik yang murni dan padat. Hal ini secara signifikan menurunkan risiko kontaminasi wafer yang disebabkan oleh kotoran yang tidak diinginkan dari kondisi pengoperasian.

Kontrol presisi yang unggul

Selesai dengan penggilingan dan pemolesan yang presisi, lengan robotik Semicorex alumina Bernoulli memberikan akurasi dimensi yang luar biasa dan kerataan permukaan yang unggul, sehingga membuatnya sangat cocok untuk pembuatan semikonduktor otomatis dengan presisi tinggi. Selain itu, lengan robotik Semicorex alumina Bernoulli memiliki stabilitas termal yang sangat baik bahkan ketika terkena lingkungan dengan fluktuasi suhu yang parah, mereka dapat mempertahankan posisi berulang yang sangat baik dan presisi penanganan.