Lengan keramik alumina

Semicorex Alumina Ceramic Arm adalah komponen rekayasa yang dikembangkan dengan spesifikasi tertinggi untuk aplikasi semikonduktor. Terbuat dari alumina dengan kemurnian tinggi (Al₂o₃), itu adalah lengan robot yang menampilkan kombinasi unik dari kekuatan mekanik, stabilitas termal dan ketahanan kimia. Lengan tidak hanya dirancang untuk digunakan untuk penanganan wafer saja tetapi juga perlu memberikan dukungan proses di lokasi fabrikasi lanjutan. Ini juga harus memastikan bahwa wafer dipindahkan, diposisikan dan diproses tanpa kontaminasi atau kerusakan; meningkatkan hasil dan keandalan proses.

Aluminaadalah salah satu keramik teknis yang menemukan penggunaan terluas di bidang keramik teknis. Alumina dikenal karena kekerasannya, ketahanan aus, dan stabilitas di lingkungan yang agresif. Untuk tujuan lengan keramik untuk mengelola penanganan wafer tanpa memperkenalkan kontaminasi, ia dapat mengeksploitasi sifat -sifat alumina dan memberikan tingkat resistensi yang jauh lebih tinggi terhadap abrasi sebagai konsekuensi dari kemurnian dan ukuran partikel yang tinggi; Oleh karena itu, itu tidak akan menghasilkan partikel berlebihan selama gerakannya yang berulang, baik dengan wafer atau dengan substrat semikonduktor jenis lain.  Kepadatan dan porositas rendah yang juga menjadi tuan rumah lebih lanjut membatasi potensi partikel yang membebaskan, dan memastikannya memenuhi persyaratan yang sangat bersih dari FAB pengembangan semikonduktor tanpa mengurangi kebersihan yang diperlukan untuk penanganan perangkat submikron.

Aluminamemiliki stabilitas termal yang luar biasa selain kekuatan mekaniknya. Lengan keramik alumina dapat menanggung suhu proses yang ekstrem tanpa melengkung, retak, atau kehilangan kekuatan. Properti ini membuatnya ideal untuk dimasukkan ke dalam langkah proses apa pun yang mencakup paparan suhu tinggi, seperti difusi, oksidasi, atau langkah anil. Wafer akan meningkatkan keandalan untuk transfer dalam lingkungan proses yang menantang karena mempertahankan integritas mekanik di bawah bersepeda termal.

Resistensi kimia adalah positif mendasar lainnya dari lengan keramik alumina. Dalam manufaktur semikonduktor, perawatan sering dilakukan pada wafer yang mencakup asam kuat, alkali, dan bahan kimia agresif lainnya. Sementara komponen logam dapat mengoreksi atau melenyapkan kotoran, alumina secara kimiawi lembam, yang melindungi integritas lengan dan wafer yang ditangani. Oleh karena itu, inertness memperpanjang umur komponen sambil mengurangi kemungkinan kontaminasi selama langkah -langkah proses kritis seperti pembersihan basah atau deposisi uap kimia.

Lengan keramik alumina dirancang dengan fokus pada kompatibilitas dan presisi. Setiap lengan dibuat untuk toleransi dimensi yang ketat, memastikan penyelarasan dan pergerakan wafer yang akurat dan kompatibilitas dengan peralatan penanganan wafer otomatis dan sistem robot. Finish permukaan yang halus dan dipoles memiliki antarmuka gesekan rendah dengan wafer yang mengurangi kemungkinan menggaruk wafer, yang penting untuk integritas wafer/kebersihan lingkungan dan pengurangan laju cacat. Toleransi yang direkayasa ini memastikan bahwa lengan beroperasi secara bebas dalam lingkungan throughput tinggi yang serba cepat dan memungkinkan untuk alur kerja semikonduktor manusia dan sepenuhnya otomatis untuk lengan.

Lengan keramik alumina mencapai lebih dari sekadar kinerja kimia dan mekanis dan dampak efisiensi operasi dan penghematan biaya pada berbagai tingkatan. Sifat keramik yang tahan lama yang terbukti memungkinkan lengan mengungguli bahan komposit seperti plastik atau aluminium dalam hal umur panjang desain di bawah pemuatan mekanik yang berulang, dan karenanya mengurangi jumlah waktu henti operasional dan/atau biaya penggantian yang terlibat. Kemampuan untuk menahan lingkungan yang keras meliputi kebersihan lingkungan, sementara juga menghasilkan lebih sedikit gangguan manufaktur yang mengarah pada peningkatan produksi wafer yang konsisten, yaitu hasil, dan pada akhirnya memo lebih sedikit yang mengarah ke ROI (laba atas investasi) yang lebih tinggi untuk produsen semikonduktor.

Opsi untuk memanfaatkanKeramik AluminaLengan untuk proses semikonduktor hampir tidak ada habisnya - dari wafer bergerak antara bangku basah, tungku difusi dan ruang deposisi hingga alat memeriksa dan memanfaatkan substrat. Fleksibilitas produk ini tidak hanya memungkinkannya digunakan untuk aplikasi penanganan wafer, tetapi juga situasi otomatisasi di mana akurasi, kebersihan, dan keandalan diperlukan juga layak. Industri semikonduktor bergerak tak terhindarkan menuju node yang lebih kecil dan peningkatan kompleksitas dalam fabrikasi perangkat, dan ketika industri terus menuntut solusi penanganan yang lebih baik yang dapat diandalkan dan tidak kontaminasi, lengan robot keramik menciptakan jalur yang jelas ke depan.