Manipulator Keramik Alumina

Manipulator keramik aluminajuga disebut garpu keramik alumina dan efektor akhir penanganan wafer. Itu dipasang pada robot penanganan wafer dan setara dengan tangan robot. Ini digunakan untuk membawa, mengangkut dan memposisikan wafer semikonduktor.Wafer silikonsangat rentan terhadap kontaminasi dari partikel lain, sehingga biasanya ditangani di lingkungan vakum untuk memastikan kebersihannya. Manipulator keramik alumina menggunakan pengisapan tekanan negatif untuk menghilangkan wafer dan mengangkut wafer semikonduktor melalui gerakan teleskopik, memutar, dan mengangkat lengan. Terdapat lubang udara dan alur ventilasi di dalam manipulator keramik alumina, yang dapat membentuk ruang hampa pada saat udara dipompa, sehingga wafer semikonduktor dapat teradsorpsi melalui kontak ringan tanpa menjepit atau merusak wafer semikonduktor.

Diketahui bahwa semakin murni komposisinyakeramik aluminaadalah, semakin tinggi kekuatannya. Manipulator keramik alumina Semicorex terbuat dari keramik alumina dengan kemurnian tinggi. Hal ini menghasilkan kekuatan mekanik dan kekerasan yang luar biasa. Ketahanan ausnya jauh melebihi baja dan baja krom, sehingga memungkinkannya mempertahankan keakuratan permukaan seiring waktu di lingkungan dengan gesekan tinggi, mengurangi risiko goresan wafer dan menjadikannya ideal untuk penanganan presisi tinggi. Manipulator keramik alumina ini memiliki resistivitas yang tinggi. Sifat isolasi listriknya yang luar biasa dapat secara efektif mencegah interferensi elektrostatis, dan mengurangi risiko adsorpsi partikel untuk menjaga permukaan wafer tetap bersih. Selain itu, proses pembuatan semikonduktor melibatkan sirkuit kompleks dan lingkungan bertegangan tinggi di dalam peralatan. Manipulator keramik alumina resistansi tinggi secara efektif memblokir konduksi arus, memastikan keamanan listrik selama penanganan wafer semikonduktor. Berkat ketahanan suhu tinggi dan stabilitas termal keramik alumina, manipulator sangat sedikit mengalami deformasi selama proses perlakuan panas semikonduktor, dapat memposisikan wafer secara akurat, dan menghindari penyimpangan presisi yang disebabkan oleh deformasi termal. Selain itu, bahan ini memiliki stabilitas kimia yang sangat baik dan sangat tahan terhadap korosi oleh asam, alkali, logam cair, dll. Tidak mudah bereaksi dengan zat lain untuk melepaskan partikel polusi, dan secara efektif dapat melindungi bagian semikonduktor dari kontaminasi bahan kimia.