Piring dasar pemasangan alumina

Pelat dasar pemasangan alumina semikorex adalah produk keramik dengan kemurnian tinggi yang dirancang sebagai pangkalan yang tahan lama dan stabil untuk pemasangan kerja chucks dalam peralatan fabrikasi semikonduktor. Pelat -pelat ini memberikan dukungan mekanis yang penting dan penyelarasan untuk operasi pemrosesan wafer seperti litografi, etsa, deposisi, dan inspeksi. Sangat penting untuk menyelaraskan secara akurat pekerjaan dengan komponen sistem lain untuk memastikan bahwa pemrosesan wafer dapat terjadi dengan kesetiaan yang diperlukan. Pelat diproduksi melalui teknik pemrosesan khusus untuk keramik untuk mencapai kerataan yang diperlukan, daya tahan suhu tinggi, dan keandalan jangka panjang untuk memenuhi persyaratan keras dari fabrikasi semikonduktor modern di kedua proses dan lingkungan ruang bersih.

Pelat dasar pemasangan alumina semikorex terbuat dari kemurnian tinggiAluminamemiliki tingkat kemurnian ≧ 99,5% (tipikal). Alumina dengan kemurnian tinggi memiliki sifat mekanik dan termal yang baik serta kekerasan. Alumina dengan kemurnian tinggi memiliki sifat isolasi listrik bawaan yang sangat baik yang juga memungkinkan pelat ini digunakan dalam aplikasi vakum dan tegangan tinggi di mana gangguan listrik dapat menjadi masalah. Alumina akan tahan terhadap siklus termal, yang memungkinkan pelat untuk mempertahankan akurasi dimensi yang lebih baik daripada kebanyakan bahan dan bermanfaat untuk mempertahankan penyelarasan atau stabilitas struktural karena berkurangnya ekspansi termal. Faktor ini penting dalam memastikan pengulangan Chuck dan toleransi proses implisit, sementara beroperasi selama siklus produksi yang diperpanjang.

Dalam sistem pemrosesan semikonduktor, pelat dasar pemasangan bukan hanya alat untuk pengikat mekanis. Ini adalah media kontak termal antara chuck dan sisa peralatan dan sangat penting untuk disipasi termal, integritas struktural, dan isolasi getaran. Tindakan pemrosesan seperti (tetapi tidak terbatas pada) CVD, PVD, atau implantasi ion, di mana suhu tinggi dan tekanan vakum adalah hal biasa, membutuhkan basis pemasangan untuk tahan termal, inert secara kimia & tahan, suara mekanis, dan tahan terhadap guncangan termal. Inertness kimia sangat penting karena gunung harus kompatibel dengan gas reaktif, serta membersihkan bahan kimia, memperpanjang masa manfaat gunung dan mencegah kontaminasi.

Setiap pelat dasar pemasangan alumina yang dibuat oleh Semicorex dikerjakan dengan toleransi yang diminta oleh OEM semikonduktor, dan integrator peralatan. Pelat dikerjakan untuk toleransi ketat untuk ketebalan, variasi tinggi, dan kerataan untuk memastikan stabilitas dan pengulangan maksimum. Pelat pemasangan ini dapat dilakukan dengan lubang pemasangan, slot, atau countersinks ke spesifikasi pelanggan untuk lebih mengakomodasi chucks kerja, tahap mekanik, atau peralatan lainnya. Keramik alumina diproses dengan menggunakan teknik penggilingan sintering dan presisi modern untuk mengoptimalkan struktur mikro yang seragam dan kualitas permukaan untuk memastikan kontak termal dan penyelarasan yang konsisten untuk digunakan dari waktu ke waktu.

Pelat dasar pemasangan alumina semikorex digunakan dalam berbagai aplikasi termasuk penangan wafer, sistem transfer robot, rakitan chuck vakum, dan tahap metrologi. Keandalan dan daya tahan ini dalam berbagai situasi proses yang menuntut, menjadikannya produk pilihan dengan produsen alat yang mencari komponen keramik yang kuat, tahan lama, dan pemeliharaan rendah. Grup teknik kami bermitra dengan pelanggan untuk memberikan solusi unik yang ditentukan untuk setiap pelat untuk memaksimalkan efisiensi untuk produksi dalam semikonduktor.

Pelat dasar pemasangan alumina lebih dari sekadar dukungan mekanis; Ini adalah komponen kunci dalam rekayasa presisi di industri semikonduktor. Dengan stabilitas, kemurnian, dan konfigurasi mekanis yang sangat baik, mereka memastikan penyelarasan yang akurat, umur panjang, dan operasi yang dapat diandalkan dalam berbagai alat proses. Untuk pelat dasar pemasangan kinerja tinggi, memenuhi harapan tinggi produsen semikonduktor saat ini, Trust Semicorex.