Lengan Robot Alumina

Semicorex Alumina Robot Arm adalah bagian keramik berkinerja tinggi yang dirancang untuk penanganan wafer dan tugas transfer dalam produksi semikonduktor. Terbuat dari keramik alumina dengan kemurnian tinggi (al₂o₃), lengan robot ini menawarkan fleksibilitas, presisi, ketergantungan, dan daya tahan di kamar bersih.

Yang menonjol mendukung lengan robot alumina adalah sifatnyaKeramik Aluminakekuatan dan kekerasan mekanis. SebagaiAluminadibuat lebih murni, alumina mempertahankan integritas struktural yang lebih baik dan membuatnya lebih tahan terhadap keausan mekanis dan deformasi. Sebagai materi, alumina adalah pilihan yang tepat untuk bagian robot yang digunakan dalam tugas penanganan wafer yang halus dan berulang, yaitu ketika lengan robot perlu melakukan fungsi yang sama dan melakukan kontak dengan wafer, distorsi kecil yang diterapkan pada wafer oleh lengan robot dapat dikenakan biaya fasilitas hasil hasil. Kekerasan tinggi, mis. Permukaan yang kaku, dapat membantu dengan ketahanan abrasif dan kehidupan fungsional, yaitu memperpanjang kehidupan dan durasi layanan/ penggantian pada komponen robot.

Di luar daya tahan mekanisnya, lengan robot alumina juga merupakan isolator listrik yang sangat baik. Resistivitasnya hingga 10¹⁵ Ω · cm dan kekuatan isolasi hingga 15 kV/mm pada suhu kamar, menyediakan lingkungan yang jauh lebih aman untuk dioperasikan, terutama ketika mengganggu sinyal listrik harus dikurangi dalam peralatan pemrosesan. Ini menjadi penting ketika melindungi komponen semikonduktor sensitif yang mentransfer antara proses dengan risiko minimal kerusakan pelepasan elektrostatik (ESD).

Keramik alumina sangat baik dalam menjaga stabilitas di seluruh suhu yang sangat tinggi. Titik leleh adalah sekitar 2050 ° C dan akan menahan suhu tinggi dalam pemrosesan termal semikonduktor tanpa kelengkungan atau akurasi dimensi. Ketahanan panas yang tinggi memungkinkan lengan untuk digunakan dalam proses seperti anil termal cepat (RTA) atau deposisi uap kimia (CVD), di mana penyelarasan presisi dan stabilitas termal sangat penting.

Salah satu manfaat signifikan lainnya dari lengan robot alumina adalah ketidaksukaannya. Permukaannya lembam untuk sebagian besar agen pembersih dan memproses gas yang digunakan dalam manufaktur semikonduktor. Oleh karena itu, itu akan tetap bebas kontaminasi dan tidak berkontribusi pada kontaminasi permukaan wafer. Kelembaman kimia ini adalah kunci untuk mencapai kondisi produksi yang sangat bersih dan memberikan kinerja perangkat yang konsisten.

Keramik Aluminajuga merupakan opsi yang terjangkau untuk perkakas semikonduktor. Ini tersedia sebagai bahan baku dan proses pemesinan keramik alumina dipahami dengan baik dan mudah diukur. Hal ini memungkinkan toleransi yang dapat direproduksi dan konsisten untuk suku cadang berkualitas tinggi diproduksi dengan harga yang kompetitif. Perpaduan kinerja dan keterjangkauan membuat lengan robot alumina ideal untuk Fab OEM dan semikonduktor di mana Anda memerlukan komponen otomatisasi yang andal yang tidak merusak bank.

Singkatnya, lengan robot alumina memberikan kinerja mekanik yang tinggi, kinerja dielektrik yang tinggi, resistensi termal yang tinggi, kinerja kimia yang tinggi, semua dengan manufakturabilitas yang terbukti dengan harga ekonomis. Secara kolektif, karakteristik kinerja ini membuatnya dapat diandalkan dan efisien untuk aplikasi penanganan wafer presisi dalam manufaktur semikonduktor, memungkinkan hasil yang lebih baik, berpotensi menurunkan risiko kontaminasi dan meningkatkan efektivitas peralatan secara keseluruhan.