Lengan Robot Alumina

Lengan robot semicorex alumina biasanya dipasang di robot penanganan wafer, berfungsi sebagai pemindah waferefektor akhiryang berfungsi sebagai transfer wafer semikonduktor yang aman dan tepat ke posisi yang diperlukan. Melalui lubang udara internal dan saluran gas, lengan robot alumina dapat menghasilkan tekanan negatif yang stabil untuk menyerap wafer semikonduktor dengan kuat. Metode adsorpsi ini menghasilkan kontak lembut dengan permukaan wafer, yang secara efektif mencegah goresan permukaan dan kerusakan mekanis yang tidak diinginkan, sehingga memastikan perlindungan menyeluruh untuk wafer semikonduktor.

Keuntungan dari lengan robot alumina

Semicorex menerapkan kontrol kualitas yang ketat terhadap produknya mulai dari pemilihan bahan baku.

Lengan robot alumina dibuat secara presisi dengan kemurnian tinggialuminabubuk granulasi, menunjukkan sifat yang sangat baik sebagai berikut.

1. Kebersihan sangat tinggi

Lengan robot alumina Semicorex memiliki kemurnian material yang tinggi dan struktur mikro yang padat, yang memungkinkannya menghindari pelepasan ion logam dan pelepasan partikel mikro selama pengoperasian, sehingga sepenuhnya memenuhi persyaratan kebersihan yang ketat dalam pembuatan semikonduktor.

2. Kinerja isolasi listrik yang tinggi

Berkat kinerja isolasi listriknya yang tinggi, lengan robot alumina Semicorex mampu meminimalkan pembangkitan muatan listrik selama pengoperasiannya. Kinerja yang andal ini dapat secara efektif menghindari muatan yang tidak diinginkan yang ditransfer oleh lengan robot alumina ke komponen semikonduktor dan menurunkan risiko kerusakan pada komponen semikonduktor yang sensitif.

3. Kinerja biaya yang menguntungkan

Berbeda darilengan robot SiC, lengan robot alumina menawarkan harga yang ekonomis dengan tetap menjaga kinerja yang stabil. Lengan robotik alumina Semicorex memberikan kekuatan mekanik yang sangat baik, ketahanan aus, tahan panas, dan ketahanan terhadap korosi, menjadikannya bekerja dengan stabil di bawah beban berat, pengoperasian frekuensi tinggi, suhu tinggi, dan kondisi kerja yang sangat korosif untuk waktu yang lama. Daya tahan unggul ini secara efektif memperpanjang masa pakai lengan robot alumina, mengurangi efisiensi dan biaya penggantian komponen.

Penerapan lengan robot alumina Semicorex

Lengan robot semicorex alumina banyak diterapkan di bagian depan prosedur manufaktur semikonduktor, termasuk etsa, deposisi film tipis, implantasi ion, dan proses CMP. Mereka dapat secara stabil, aman, dan tepat mendukung, mentransfer, dan memposisikan wafer dan komponen semikonduktor di berbagai ruang proses dan peralatan dalam kondisi operasi vakum dan kebersihan tinggi.