Pelat Pemoles Wafer Alumina

Wafer alumina semicorex pelat pemolesadalah suku cadang mesin presisi yang terbuat dari alumina kemurnian tinggi melalui pengepresan isostatik, sintering suhu tinggi, dan pemesinan presisi. Keramik alumina ideal untuk aplikasi pemolesan presisi dengan persyaratan ketat untuk presisi dan efisiensi permukaan ultra-tinggi, khususnya untuk pemolesan wafer semikonduktor, karena keramik alumina menawarkan sifat fisik dan kimia yang luar biasa.

---

Umur panjang untuk ketahanan aus yang sangat baik

Ketahanan aus yang tinggi sangat penting untuk pelat pemoles wafer yang digunakan dalam pemesinan presisi tinggi. Kekerasan Mohs dari keramik alumina adalah sekitar 9, kedua setelah berlian dan silikon karbida, yang memungkinkan pelat pemoles wafer tahan terhadap kondisi operasi gesekan berkecepatan tinggi dan tugas tinggi selama pemolesan wafer semikonduktor dengan kehilangan keausan yang rendah. Dengan ketahanan aus yang luar biasa ini, pelat pemoles wafer alumina menunjukkan masa pakai yang tahan lama, secara signifikan menurunkan frekuensi penghentian peralatan untuk penggantian dan mengurangi biaya pemeliharaan dan penggantian.

Stabilitas termal yang luar biasa dan ketahanan suhu tinggi

Aluminapelat pemoles wafer dapat mempertahankan sifat fisik dan kinerja gesekannya selama lingkungan bersuhu tinggi 1000℃ karena stabilitas termal yang luar biasa dan ketahanan suhu tinggi. Mereka cocok untuk kondisi kerja suhu tinggi yang disebabkan oleh gesekan yang sering terjadi, secara efektif menghindari deformasi termal dan berkontribusi untuk menjaga permukaan pemolesan konstan.

Ketahanan korosi kimia yang andal

Pelat pemoles wafer alumina memiliki ketahanan korosi kimia yang andal. Mereka dapat menahan sebagian besar asam dan basa, serta larutan pemoles kimia yang umum digunakan dalam proses CMP. Kerataan permukaannya tidak akan terganggu oleh korosi kimia, sehingga mempengaruhi kualitas permukaan wafer semikonduktor.

---

Aplikasi untuk pelat pemoles wafer Semicorex Alumina

1. Pemolesan wafer semikonduktor

Pelat pemoles wafer alumina banyak digunakan dalam penggilingan, pemolesan kasar, dan pemolesan akhir silikon, SiC, safir, dan berbagai substrat wafer. Berkat kekasarannya yang sangat rendah dan kerataan permukaan skala nano, pelat pemoles wafer alumina idealnya dapat memenuhi persyaratan kualitas permukaan yang tepat dari proses semikonduktor canggih seperti etsa dan litografi.

2. Penipisan wafer dan pemolesan tepi

Selama proses penipisan wafer, pelat pemoles wafer alumina dapat digunakan untuk mengontrol ketebalan wafer secara tepat dan menghilangkan material bagian belakang secara merata. Dalam proses pemolesan tepi, pelat pemoles alumina juga dapat membantu mencapai kualitas tepi wafer yang optimal dengan menghilangkan gerinda dan cacat pada tepi wafer.