Chuck Alumina Beralur Melingkar

Chuck alumina beralur annular semicorex mengadopsi struktur permukaan yang terdiri dari serangkaian beberapa alur annular konsentris. Saat dihubungkan dengan pompa vakum, alur ini membentuk zona tekanan negatif berbentuk cincin untuk menahan wafer tipis dan benda kerja secara stabil dengan posisi yang tepat. Chuck alumina beralur annular semicorex berfungsi dengan baik dalam kondisi kerja yang memerlukan manajemen kerataan yang ketat dan gaya adsorpsi yang didistribusikan secara merata, yang diterapkan secara luas dalam penahan wafer, penentuan posisi paparan, etsa plasma, serta proses inspeksi dan transfer wafer.

Keuntungan dari chuck alumina beralur annular Semicorex

1. Ketahanan suhu tinggi yang luar biasa

Keramik alumina yang dibuat dengan sintering densifikasi menunjukkan kinerja termal yang luar biasa. Karena sifat material ini, chuck alumina beralur annular Semicorex bekerja secara stabil di bawah lingkungan kerja bersuhu tinggi yang ekstrem tanpa deformasi struktural dan penurunan kinerja dalam penggunaan jangka panjang.

2. Kekuatan adsorpsi seragam

Semicorex beralur melingkarchuck aluminamenampilkan beberapa alur melingkar pada permukaan adsorpsinya, di mana zona vakum berbentuk cincin yang stabil terbentuk. Konfigurasi ini memungkinkan gaya adsorpsi yang konsisten di seluruh area kontak wafer utama, sehingga secara signifikan menurunkan deformasi dan lengkungan parsial wafer.

3. Stabilitas struktural yang unggul dan akurasi posisi pengulangan yang tinggi

Menawarkan kekakuan material dan stabilitas struktural yang unggul, chuck alumina beralur annular Semicorex mampu mempertahankan kerataan yang sangat baik dan akurasi posisi yang konsisten selama operasi penjepitan vakum berulang untuk waktu yang lama.

4. Ketahanan korosi kimia yang kuat

KarenaaluminaStabilitas kimia yang andal, chuck alumina beralur annular Semicorex memiliki ketahanan yang luar biasa terhadap sebagian besar zat asam dan basa, serta berbagai gas proses korosif dan sangat disesuaikan dengan kondisi pengoperasian korosif yang menantang.

5. Kebersihan luar biasa

Berkat kontrol kemurnian material yang ketat dan perlakuan densifikasi, chuck alumina beralur annular Semicorex jarang melepaskan partikel atau melepaskan kotoran saat digunakan, sehingga sepenuhnya memenuhi standar kontaminasi rendah yang ketat di ruang bersih semikonduktor.

Mengapa memilih Semicorex?

Sebagai perusahaan industri terkemuka di Tiongkok, Semicorex didukung dengan jalur produksi terintegrasi dan tim teknis yang berpengalaman. Kami dapat menawarkan dukungan teknis yang disesuaikan dan solusi proses yang dioptimalkan kepada pelanggan kami dan memberi mereka manufaktur kustomisasi non-standar untuk chuck alumina beralur annular kami dalam hal kemurnian material, bentuk chuck, dimensi, kerataan, toleransi, dan persyaratan lainnya.