Pemanas C/C

Semicorex C/C Heater adalah elemen pemanas komposit karbon/karbon berkinerja tinggi yang dirancang untuk menghasilkan distribusi panas yang seragam dan kontrol suhu yang tepat dalam proses pertumbuhan kristal silikon. Semicorex berkomitmen untuk memasok komponen medan termal yang canggih dan andal kepada pelanggan di seluruh dunia, mendukung industri semikonduktor dan fotovoltaik dengan kualitas yang konsisten dan layanan global.*

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Dalam manufaktur semikonduktor dan fotovoltaik tingkat lanjut, kontrol termal yang tepat sangat penting untuk mencapai struktur kristal berkualitas tinggi. Semicorex C/C Heater (Carbon/Carbon Main Heater) dirancang untuk memberikan keseragaman dan stabilitas termal yang luar biasa, menjadikannya komponen penting dalam sistem pertumbuhan kristal suhu tinggi.

Pemanas C/C yang ditunjukkan di atas memiliki struktur cincin tersegmentasi dengan slot potongan presisi, yang dirancang untuk mengoptimalkan distribusi arus dan radiasi termal. Konfigurasi ini memungkinkan pembangkitan panas yang sangat seragam di seluruh zona pemanasan, secara efektif meminimalkan gradien termal dan mendukung kondisi pertumbuhan kristal yang konsisten. Ini banyak digunakan dalam proses seperti silikon monokristalin (metode CZ) dan produksi silikon polikristalin, di mana keakuratan suhu berdampak langsung pada kualitas dan hasil bahan.

Pemanas grafit tradisional sering kali mengalami kesulitan dengan umur mekanis yang panjang dan deformasi termal selama siklus suhu tinggi yang berulang.komposit C/C, diperkuat dengan serat karbon berkekuatan tinggi, menawarkan alternatif yang lebih unggul. Dengan memanfaatkan matriks karbon yang diperkuat oleh serat karbon, pemanas C/C mempertahankan integritas struktural yang luar biasa sekaligus memberikan gradien suhu tepat yang diperlukan untuk mengontrol antarmuka leleh-padat selama pertumbuhan ingot silikon.

Spesifikasi Utama:

Kepadatan: ≥1,50 g/cm³

Konduktivitas Termal (RT): ≥40 W/(m·K)

Resistivitas Listrik (RT): 20–30 μΩ·m

Resistivitas Listrik (Suhu Tinggi): 14–20 μΩ·m

Keuntungan Utama untuk Pertumbuhan Silikon

silicon crystal growth

1. Keseragaman Termal yang Luar Biasa

Fungsi utama Pemanas Utama C/C adalah menyediakan distribusi panas yang simetris. Dalam pertumbuhan silikon monokristalin, bahkan sedikit fluktuasi pada gradien suhu dapat menyebabkan masalah pengendapan oksigen atau dislokasi. Struktur pemanas kami yang diperkuat serat memastikan bahwa panas terpancar secara merata ke seluruh wadah, sehingga mendorong tingkat pertumbuhan yang stabil.

2. Peningkatan Kemurnian Kimia

Kontaminasi adalah musuh efisiensi semikonduktor. Pemanas C/C kami menjalani proses pemurnian suhu tinggi untuk memastikan kadar abu tetap minimum (biasanya <20ppm). Hal ini mencegah kotoran logam larut ke dalam lelehan silikon, memastikan resistivitas tinggi dan masa pakai pembawa yang diperlukan untuk wafer tipe-N atau tipe-P.

3. Umur Panjang dan Efisiensi Biaya

Dibandingkan dengan grafit isostatik standar,komposit C/Cmemiliki rasio kekuatan terhadap berat yang jauh lebih tinggi. Mereka sangat tahan terhadap guncangan termal dan tidak menjadi rapuh setelah digunakan dalam waktu lama pada suhu melebihi 1500℃. Daya tahan ini menghasilkan lebih sedikit pembongkaran tungku dan total biaya kepemilikan yang lebih rendah bagi operator pabrik.