Lapisan karbon kaca terasa

Lapisan karbon kaca semikoreks Felts bertindak sebagai lapisan isolasi dalam dalam reaktor epitaxial silikon karbida. Ini adalah bahan isolasi berkinerja tinggi yang dirancang untuk lingkungan termal canggih. Produk ini mengatasi tantangan manufaktur suhu tinggi semikonduktor khas dengan menawarkan solusi yang unggul karena sifat isolasi termal yang ringan dan sangat baik darigrafit terasa, ditambah dengan integritas permukaan dan inertness kimia yang diberikan oleh lapisan karbon kaca.

Bahan dasar adalah kemurnian tinggigrafit terasaPilih untuk konduktivitas termal rendah stabilitas suhu tinggi dan ringan. Felt grafit normal biasanya memiliki pelepasan serat permukaan dan generasi partikel pada suhu tinggi yang dapat mencemari lingkungan proses dalam sistem epitaxial yang sensitif. Untuk mengurangi masalah ini, permukaan grafit yang dirasakan secara seragam dilapisi dengan lapisan karbon kaca-bentuk karbon yang padat dan tidak berpori yang dikenal karena inertness kimianya, permeabilitas gas rendah, dan stabilitas termal yang luar biasa.

Karbon kaca adalah karbon yang tidak ternodai yang menggabungkan sifat-sifat kaca dan keramik. Berbeda dengan grafit kristal, ini adalah bahan karbon hibridisasi SP2 yang amorf, hampir 100% SP2, yang dibentuk oleh sintering suhu tinggi dari prekursor organik yang terpolimerisasi, seperti resin fenolik, resin alkohol furfuryl, dll., Di atmosfer gas inert. Karena berwarna hitam di seluruh dan memiliki permukaan halus yang mirip dengan kaca, itu disebut karbon kaca.

Lapisan karbon kaca dapat menghilangkan generasi partikel tungku, menyediakan pori -pori permukaan yang disegel, memiliki sifat demolding yang sangat baik dan mengurangi permeabilitas, membuat bahan ini sangat cocok untuk cetakan dan produk casting berkelanjutan dalam industri semikonduktor. Bahan ini memiliki berbagai aplikasi dalam industri semikonduktor, terutama di bagian grafit seperti komponen peralatan penarik silikon kristal tunggal, komponen pertumbuhan epitaxial, cetakan casting kontinu, jig penyegelan kaca, dll.

Karbon kaca memiliki resistensi suhu tinggi hingga 3000 ° C dalam gas inert atau vakum, dan tidak seperti semua bahan suhu tinggi keramik dan logam lainnya, kekuatan karbon kaca meningkat dengan meningkatnya suhu hingga 2.700K, dan tidak menjadi rapuh dan memiliki ketahanan guncangan termal yang sangat tinggi, sehingga waktu pemanasan dan pendinginan yang singkat tidak masalah. Selain itu, karbon kaca memiliki massa rendah, penyerapan panas rendah dan ekspansi termal rendah, sehingga cocok untuk hampir semua aplikasi suhu tinggi.

Lapisan karbon kaca memainkan peran penting dalam menyegel pori -pori permukaan yang dirasakan grafit, secara signifikan mengurangi pelepasan partikel dan debu karbon selama operasi. Ini sangat penting dalam proses pertumbuhan epitaxial SIC, di mana bahkan kontaminasi minimal dapat membahayakan kualitas wafer dan kinerja perangkat. Dengan merangkum struktur berpori dari nuansa dengan cangkang karbon berkaca yang halus dan keras, lapisan memastikan lingkungan termal yang bersih dan stabil di dalam ruang reaksi.

Keuntungan utama dari lapisan karbon kaca yang dirasakan meliputi:

Pengurangan Partikel Pelepasan: Lapisan padat secara efektif mengunci serat dan partikel longgar, mencegah kontaminasi wafer dan komponen reaktor.

Stabilitas termal yang tinggi: Baik grafit yang terasa dan karbon kaca dapat menahan suhu yang melebihi 2000 ° C di atmosfer inert atau vakum, membuat produk ideal untuk proses SiC suhu tinggi.

Ketidakluhan Kimia: Permukaan karbon kaca tahan terhadap sebagian besar asam dan gas korosif, memperpanjang umur operasional lapisan isolasi dalam kondisi yang keras.

Peningkatan konsistensi proses: Generasi partikel yang diminimalkan berkontribusi pada lingkungan pertumbuhan epitaxial yang lebih stabil dan berulang, yang penting untuk menghasilkan wafer SiC berkualitas tinggi.

Aplikasi lapisan karbon kaca yang dirasakan terutama meluas ke tungku pertumbuhan epitaxial SIC, di mana ia digunakan sebagai lapisan isolasi termal di dalam zona panas. Produk ini biasanya dipasang sebagai bahan pelapis di tumpukan isolasi atas atau bawah, di mana ia memberikan penjaminan perlindungan termal dan jaminan kebersihan.