Chuck grafit

Chuck grafit semiCorex direkayasa darigrafit khusus, diakui karena resistensi termal dan kimianya yang luar biasa. Contoh unik dari chuck grafit semacam itu yang secara khusus direkayasa dari bentuk grafit itu karena dikenal karena ketahanannya yang sangat tinggi terhadap bahan kimia dan panas. Ini membuat Chucks tahan lama dan mereka akan melakukan dalam kondisi paling sulit yang digunakan dalam pengendapan uap kimia (CVD) atau etsa plasma atau bahkan di tungku suhu tinggi. Dengan demikian, kemurnian tinggi dengan kotoran yang sangat rendah sudah berarti bahwa mereka tidak akan menyebabkan kontaminasi selama produksi polisilikon. Mereka mampu menanggung suhu jauh di atas 2000 ° C tanpa deformasi penting karena mereka sangat stabil melalui peningkatan suhu. Selain itu, mereka juga memiliki resistensi superior terhadap sebagian besar bahan kimia dan karenanya akan bertahan hidup dalam kondisi yang sangat sulit, seperti pada asam klorida (HCl) atau silikon tetrachloride (SICL4). Kekuatan mekanik yang tinggi berarti bahwa chuck dapat mempertahankan bentuknya bahkan ketika mengalami beban kontinu.

Graphite Chuck sangat penting dalam pemrosesan wafer dan pertumbuhan kristal; Mereka memainkan peran utama dalam semua manufaktur di setiap tahap, seperti Chemical Vapor Deposition (CVD), di mana mereka memastikan deposisi silikon yang seragam. Selama mengiris dan memoles, mereka memberikan dukungan yang stabil untuk pemotongan wafer dan finishing permukaan. Dalam pemrosesan termal, mereka bertindak sebagai basis tahan panas untuk proses anil dan doping wafer silikon, secara signifikan meningkatkan efisiensi dan kualitas jalur produksi.

Bagaimana kita memastikan keseragaman kinerja kitagrafit?

Pertama, karbonisasi. Tungku kami hanya memiliki 115 meter kubik. Tim teknis kami akan menguji bidang suhu produk grafit di berbagai area dari setiap tungku. Dalam keadaan suhu rendah (0-200 °) ketika suhu mulai naik, kami akan mengontrolnya sekitar ± 10 °, dan dalam keadaan suhu tinggi (di atas 600 °), kami akan mengontrolnya pada ± 1 °. Kami tidak hanya akan menguji medan suhu antara grafit yang berbeda, tetapi juga menguji permukaan dan suhu internal setiap bagian bahan grafit, dan mengendalikannya pada ± 3 °. Kami menguji 8 titik suhu di setiap tungku di tungku karbonisasi.

Yang kedua adalah grafitisasi. Mengambil 500 kg sebagai contoh, kami juga akan menguji 8 poin suhu. Sampel diperiksa secara acak pada posisi mana pun dari produk yang dipenuhi untuk pengujian destruktif. Setelah kehancuran, 24 poin diuji. Tes dilakukan secara terpisah dari sumbu XYZ untuk memastikan keseragamannya. Sebagian besar perusahaan di industri hanya akan menguji sumbu X atau paling banyak sumbu XY.

Produsen umum hanya menguji 6-8 poin, dan yang lebih baik menguji 12 poin, sementara kami menguji 24 poin.

Semicorex Graphite Chuck adalah solusi yang sangat diperlukan untuk produsen polisilikon yang mencari perkakas berkinerja tinggi, andal, dan hemat biaya. Dengan sifat material canggih dan rekayasa presisi, produk kami meningkatkan efisiensi dan kualitas produksi wafer silikon di industri surya. Untuk informasi lebih lanjut atau spesifikasi khusus, silakan hubungi kami hari ini.