Elektroda Grafit

Elektroda Grafit Semicorex adalah komponen grafit yang diproduksi dengan kemurnian tinggi dan presisi untuk digunakan dalam aplikasi termal semikonduktor, yang mengutamakan konduktivitas listrik, stabilitas termal, dan akurasi dimensi. Faktanya, jenis elektroda ini digunakan dalam tungku suhu tinggi, reaktor epitaksi, dan ruang pemrosesan termal, memfasilitasi konduksi arus yang stabil, perpindahan panas, dan stabilitas dalam kondisi suhu dan atmosfer yang agresif. Karena kemurnian ekstrim, keseragaman struktur padat, dan sifat mekanik yang tinggi dari Elektroda Grafit Semicorex, elektroda ini dapat memberikan kinerja termal yang andal sebagai elemen pemanas dalam aplikasi semikonduktor yang menuntut.

Elektroda grafit dibuat dari bahan grafit butiran halus berkualitas tinggi, masing-masing dibuat menggunakan rangkaian ekstrusi tingkat lanjut, karbonisasi suhu tinggi, dan grafitisasi. Struktur mikro grafit dirancang untuk resistivitas listrik yang kira-kira konstan, konduktivitas termal yang tinggi, dan stabilitas mekanis. Produk akhirnya adalah konduktor termal dengan kemurnian tinggi yang mempertahankan kondisi fisik dan distribusi arus yang seragam di lingkungan berdaya tinggi serta fluktuasi suhu yang cepat.

Kinerja Ultra di kamigrafit

Grafit kami menjamin keseragaman kinerja yang unggul. Pertama, selama proses karbonisasi, tungku kami hanya memiliki 115 meter kubik. Tim teknis kami memantau bidang suhu produk grafit di berbagai area di setiap tungku. Pada tahap awal suhu rendah (0-200°C), kami mengontrol suhu dalam ±10°C, dan pada suhu tinggi (di atas 600°C), dalam ±1°C. Kami tidak hanya memantau medan suhu antara partikel grafit yang berbeda, tetapi juga suhu permukaan dan internal masing-masing bagian grafit, mengendalikannya dalam ±3°C. Kami memantau 8 titik suhu di setiap tungku karbonisasi.

Kedua, selama proses grafitisasi, dengan mengambil contoh batch 500 kg, kami juga memantau 8 titik suhu. Setelah grafitisasi, kami mengambil sampel secara acak dan menguji secara destruktif 24 titik di sepanjang sumbu X, Y, dan Z untuk memastikan keseragaman. Sebagian besar perusahaan di industri hanya menguji sumbu X, atau paling banyak sumbu XY, dengan pabrikan pada umumnya hanya menguji 6-8 poin, dan produsen yang lebih baik menguji 12 poin. Kami menguji 24 poin.

Dalam bidang termal semikonduktor, Elektroda Grafit adalah bagian penting dari rakitan pemanas, mengarahkan arus listrik ke zona pemanasan dan memungkinkan distribusi suhu terkontrol pada proses tertentu, seperti oksidasi, difusi, LPCVD, atau epitaksi. Elektroda Grafit harus memiliki peran operasional yang andal pada suhu melebihi 2000°C dan tetap tahan terhadap oksidasi, lengkungan, atau kontaminasi tempat pemanasan.

Elektroda Grafit Semicorex memiliki konduktivitas listrik yang luar biasa, yang memfasilitasi penyaluran daya efektif dengan kerugian minimal, dan memiliki konduktivitas termal yang sangat baik, memungkinkan perpindahan panas seragam yang cepat di dalam tungku. Kombinasi ekspansi termal yang rendah dan kekuatan mekanik yang tinggi mengurangi deformasi dan retak selama siklus termal, sehingga menghasilkan perilaku yang stabil dalam jangka waktu masa pakai yang lama. Setiap elektroda dikerjakan dengan toleransi dimensi yang ketat dan permukaan akhir yang halus untuk memastikan kontak yang konsisten dan hambatan listrik yang dapat diabaikan pada permukaan kontak.

Dengan mempertimbangkan persyaratan spesifik proses semikonduktor, Semicorex dapat merekayasa desain elektroda khusus agar sesuai dengan konfigurasi tungku dan spesifikasi daya apa pun. Diameter, panjang, jenis sambungan, atau penyelesaian permukaan yang berbeda dapat tersedia. Bila diperlukan, bahan pelapis, seperti SiC atau karbon pirolitik, dapat diterapkan untuk mendukung ketahanan oksidasi dan masa pakai di lingkungan dengan oksigen tinggi atau gas reaktif.

Kemurnian yang tinggi daribahan grafitberfungsi untuk memastikan tingkat pengotor logam (dan pengotor gas) yang sangat rendah, seringkali lebih dari 99,999% karbon. Tingkat pengotor yang rendah membantu menghindari kontaminasi wafer semikonduktor selama pemrosesan termal. Dikombinasikan dengan kedalaman pemesinan yang signifikan dan permukaan akhir yang dipoles, Elektroda Grafit Semicorex memenuhi stabilitas mekanis dan kimia dari teknologi fabrikasi wafer yang canggih.

Baik digunakan dalam tungku difusi, reaktor epitaksi, atau peralatan pemrosesan suhu tinggi, Elektroda Grafit Semicorex memberikan kinerja tak tertandingi di lingkungan termal yang paling menuntut. Dengan menggabungkan kemurnian tinggi, geometri presisi, dan pemrosesan material tingkat lanjut, Semicorex menghadirkan solusi elektroda yang memastikan konduksi arus stabil, pemanasan konsisten, dan keandalan operasional jangka panjang yang penting untuk manufaktur semikonduktor generasi berikutnya.