Semicorex Graphite Heater For Hot Zone, dirancang untuk beroperasi dengan andal dalam tungku bersuhu tinggi, dirancang untuk tahan terhadap kondisi menantang yang melekat pada proses seperti deposisi uap kimia (CVD), epitaksi, dan anil suhu tinggi. Kami di Semicorex berdedikasi untuk memproduksi dan memasok Pemanas Grafit Untuk Zona Panas berkinerja tinggi yang memadukan kualitas dengan efisiensi biaya.**
Distribusi Suhu Homogen:Pemanas Grafit Untuk Zona Panas terkenal dengan karakteristik pemanasannya yang seragam, yang dicapai melalui kombinasi pemrosesan material yang cermat dan pemesinan yang presisi. Homogenitas ini memastikan profil suhu yang konsisten di seluruh permukaan pemanas, meminimalkan gradien termal yang dapat menyebabkan pemrosesan wafer tidak merata, berkurangnya hasil, dan kinerja perangkat yang tidak konsisten.
Ketahanan Korosi yang Luar Biasa:Pemanas Grafit Untuk Zona Panas menunjukkan ketahanan luar biasa terhadap berbagai gas korosif dan bahan kimia yang biasa ditemui dalam pemrosesan semikonduktor suhu tinggi. Kelambanan yang melekat ini memastikan stabilitas dan kinerja pemanas jangka panjang, meminimalkan risiko kontaminasi, dan memperpanjang umur operasional.
Ketahanan Oksidasi Unggul:Tidak seperti grafit konvensional, Pemanas Grafit Untuk Zona Panas menghadirkan ketahanan yang unggul terhadap oksidasi, bahkan pada suhu tinggi. Karakteristik ini sangat penting untuk menjaga integritas pemanas dan mencegah pembentukan kontaminasi partikulat di dalam ruang pemrosesan.
Kemurnian Kimia Sangat Tinggi:Pemanas Grafit Untuk Zona Panas diproses untuk mencapai tingkat kemurnian sangat tinggi, meminimalkan risiko masuknya kontaminan yang tidak diinginkan ke dalam lingkungan pemrosesan semikonduktor. Kemurnian luar biasa ini penting untuk menjaga integritas bahan semikonduktor halus dan memastikan sifat listrik dan optik yang diinginkan dari perangkat fabrikasi.
Kekuatan dan Stabilitas Mekanik Tinggi:Pemanas Grafit Untuk Zona Panas memiliki kekuatan mekanik dan stabilitas dimensi yang luar biasa pada suhu tinggi, memungkinkan pembuatan komponen pemanas kuat yang mampu menahan kerasnya pengoperasian suhu tinggi, termasuk siklus termal dan tekanan mekanis.