Komponen Silikon untuk Etsa Kering

Peralatan etsa kering tidak menggunakan bahan kimia basah untuk etsa. Ini terutama memasukkan gas etsa ke dalam ruangan melalui elektroda atas dengan lubang tembus kecil. Medan listrik yang dihasilkan oleh elektroda atas dan bawah mengionisasi gas etsa, yang kemudian bereaksi dengan bahan yang akan digores pada wafer, menghasilkan zat yang mudah menguap. Zat-zat yang mudah menguap ini kemudian diekstraksi dari ruang reaksi, menyelesaikan proses etsa.

Reaksi etsa kering berlangsung di dalam ruang proses, yang utamanya terdiri darikomponen silikon, termasuk cincin knalpot silikon, cincin luar silikon, pancuran silikon, cincin fokus silikon, dan cincin pelindung silikon.

Dalam ruang etsa kering, wafer silikon biasanya ditempatkan di dalam cincin fokus silikon. Kombinasi ini berfungsi sebagai elektroda positif, ditempatkan di bawah ruang etsa. Cakram silikon dengan lubang-lubang kecil yang padat, terletak di atas ruangan, berfungsi sebagai elektroda negatif. Cincin luar silikon menopang elektroda atas dan komponen terkait lainnya. Elektroda atas dan bawah bersentuhan langsung dengan plasma. Saat plasma mengetsa wafer silikon, ia juga mengikis elektroda silikon atas dan bawah. Elektroda bawah (cincin fokus) secara bertahap menipis selama proses etsa, sehingga memerlukan penggantian ketika ketebalan mencapai tingkat tertentu. Selain itu, lubang yang tersebar merata di elektroda atas (pancuran) terkorosi oleh plasma, menyebabkan variasi ukuran lubang. Ketika variasi ini mencapai tingkat tertentu, variasi tersebut perlu diganti. Biasanya, siklus penggantian diperlukan setiap 2-4 minggu penggunaan.

Bagian ini secara khusus menjelaskan peran cincin pemfokusan silikon (elektroda bawah). Ia mengontrol ketebalan selubung plasma, sehingga mengoptimalkan keseragaman pemboman ion. Selubung plasma, wilayah non-netral antara plasma dan dinding pembuluh darah, merupakan wilayah penting dan unik di dalam plasma. Plasma terdiri dari ion dan elektron positif dalam jumlah yang sama. Karena elektron bergerak lebih cepat dibandingkan ion, elektron mencapai dinding pembuluh terlebih dahulu. Plasma bermuatan positif relatif terhadap dinding pembuluh darah. Medan listrik selubung mempercepat ion-ion di dalam plasma (tarikan positif-negatif), memberikan energi tinggi kepada ion-ion tersebut. Fluks ion berenergi tinggi ini memungkinkan pelapisan, pengetsaan, dan sputtering.

Impedansi wafer mempengaruhi ketebalan selubung plasma (semakin rendah impedansinya, semakin tebal selubungnya). Impedansi di bagian tengah wafer berbeda dengan impedansi di tepinya, sehingga ketebalan selubung plasma di bagian tepinya tidak merata. Selubung plasma yang tidak rata ini mempercepat ion tetapi juga membelokkan titik pemboman ion, sehingga mengurangi akurasi etsa. Oleh karena itu, cincin pemfokusan diperlukan untuk mengontrol ketebalan selubung plasma, sehingga mengoptimalkan arah bombardir ion dan meningkatkan akurasi etsa.

Mengambil cincin fokus di sekitar wafer sebagai contoh, meskipun kuarsa, dengan kemurniannya yang tinggi, optimal untuk mencapai kontaminasi logam yang rendah, ia terkorosi dengan cepat dalam plasma gas fluorida, sehingga menghasilkan umur yang pendek. Hal ini tidak hanya meningkatkan biaya tetapi juga memerlukan waktu henti karena penggantian, sehingga mengurangi waktu kerja peralatan. Keramik, meskipun memiliki umur yang cukup panjang, terkena bombardir ion berenergi tinggi. Aluminium yang tergagap bereaksi dengan fluor dalam plasma membentuk fluorida yang tidak mudah menguap (seperti aluminium fluorida). Jika bahan-bahan ini tidak dapat dihilangkan dan disimpan pada permukaan perangkat atau bahan fotoresist pada tepi wafer, bahan-bahan tersebut akan menghambat penghilangan selanjutnya dari fluorida dan bahan fotoresist yang dihasilkan, sehingga berdampak pada hasil produk. Bahan yang lebih cocok adalah silikon kristal tunggal atau silikon karbida. Namun, silikon kristal tunggal harganya murah tetapi umurnya pendek, sedangkan silikon karbida lebih mahal tetapi umurnya sedikit lebih lama. Pertukaran antara kedua opsi ini bergantung pada keadaan spesifik. Misalnya, jika pemanfaatan peralatan tinggi dan waktu kerja sangat penting, silikon karbida harus digunakan. Jika biaya keausan komponen tidak terlalu tinggi, silikon kristal tunggal harus digunakan.

Semicorex menawarkan kualitas tinggiBagian silikon. Jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Hubungi telepon #+86-13567891907

Email: penjualan@semicorex.com