Tentang cacat pada kristal SiC - Micropipe

SiC substrate can have microscopic defects, such as Threading Screw Dislocation (TSD), Threading Edge Dislocation (TED), Base Plane Dislocation (BPD), and others. These defects are caused by deviations in the arrangement of atoms at the atomic level. SiC crystals may also have macroscopic dislocations, like Si or C inclusions, micropipe, hexagonal voids, polymorphs, etc. These dislocations are typically large in size.

Salah satu masalah utama dalam pembuatan perangkat SiC adalah struktur mikro tiga dimensi yang dikenal sebagai "pipa mikro" atau "lubang kecil", yang biasanya berukuran masing-masing 30-40um dan 0,1-5um. Pipa mikro ini memiliki kepadatan 10-10³/cm² dan dapat menembus lapisan epitaksial, sehingga mengakibatkan cacat yang mematikan perangkat. Hal ini terutama disebabkan oleh pengelompokan dislokasi spiro dan dianggap sebagai hambatan utama dalam pengembangan perangkat SiC.

Cacat mikrotubulus pada substrat merupakan sumber cacat lain yang terbentuk pada lapisan epitaksi selama proses pertumbuhan, seperti rongga, inklusi berbagai polimorf, kembaran, dll. Oleh karena itu, hal terpenting yang harus dilakukan selama proses pertumbuhan bahan substrat untuk perangkat SiC bertegangan tinggi dan berdaya tinggi adalah untuk mengurangi pembentukan cacat mikrotubulus pada kristal SiC massal dan mencegahnya memasuki lapisan epitaksi.

Micropipe dapat dilihat sebagai lubang kecil, dan dengan mengoptimalkan kondisi proses kita dapat "mengisi lubang tersebut" untuk mengurangi kepadatan micropipe. Beberapa penelitian dalam literatur dan data eksperimen menunjukkan bahwa epitaksi evaporasi, pertumbuhan CVD, dan epitaksi fase cair dapat mengisi pipa mikro dan mengurangi pembentukan pipa mikro dan dislokasi.

Semicorex menggunakan teknik MOCVD untuk menciptakan lapisan SiC yang secara efektif mengurangi kepadatan pipa mikro, sehingga menghasilkan produk berkualitas terbaik. Jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Hubungi telepon #+86-13567891907

Email: penjualan@semicorex.com