Apa itu dayung kantilever?

Selama pemrosesan wafer semikonduktor, tungku khusus digunakan untuk memanaskan wafer. Tungku ini berisi tabung silinder memanjang dimana wafer ditempatkan pada perahu wafer pada posisi yang telah ditentukan dan berjarak sama. Untuk memastikan bahwa peralatan pemrosesan tidak menyia-nyiakan wafer dan untuk tahan terhadap kondisi pemrosesan di dalam ruangan, perahu wafer dan perangkat lain yang digunakan dalam pemrosesan wafer dibuat dari bahan seperti silikon karbida (SiC).

Perahu wafer, yang berisi sejumlah wafer untuk diproses, ditempatkan di atas dayung kantilever yang panjang. Dayung ini dapat dimasukkan ke dalam dan ditarik dari tungku tubular dan reaktor. Dayung terdiri dari bagian pengangkut yang diratakan yang dapat menampung satu atau lebih perahu dan pegangan panjang yang terletak di salah satu ujung bagian pengangkut yang diratakan untuk memudahkan penanganan.

Untuk komponen terbaik dalam pemrosesan semikonduktor, disarankan untuk menggunakan kantilever dayung yang terbuat dari silikon karbida rekristalisasi dengan lapisan tipis CVD SiC. Bahan ini memiliki kemurnian tinggi dan merupakan pilihan terbaik untuk komponen tersebut.

Semicorex membuat dayung kantilever khusus dengan lapisan CVD SiC berkualitas tinggi. Jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Hubungi telepon #+86-13567891907

Email: penjualan@semicorex.com