Apa itu suseptor grafit berlapis SiC?

Baki (alas) yang mendukung wafer SiC, juga dikenal sebagai "pengurus," adalah komponen inti peralatan manufaktur semikonduktor. Dan apa sebenarnya susceptor yang membawa wafer ini?

Dalam proses pembuatan wafer, substrat perlu dibuat lebih lanjut dengan lapisan epitaksi untuk fabrikasi perangkat. Contoh umum termasukPemancar LED, yang memerlukan lapisan epitaksi GaAs di atas substrat silikon; pada substrat SiC konduktif, lapisan epitaksi SiC ditanam untuk perangkat seperti SBD dan MOSFET, yang digunakan dalam aplikasi tegangan tinggi dan arus tinggi; padasubstrat SiC semi-isolasi, lapisan epitaksi GaN dibuat untuk membuat perangkat seperti HEMT, yang digunakan dalam aplikasi RF seperti komunikasi. Proses ini sangat bergantung pada peralatan CVD.

Pada peralatan CVD, substrat tidak dapat langsung ditempatkan pada logam atau alas sederhana untuk pengendapan epitaksi, karena melibatkan berbagai faktor yang mempengaruhi seperti arah aliran gas (horizontal, vertikal), suhu, tekanan, stabilitas, dan penghilangan kontaminan. Oleh karena itu, diperlukan alas tempat substrat ditempatkan sebelum menggunakan teknologi CVD untuk mengendapkan lapisan epitaksi pada substrat. Basis ini dikenal sebagai aPenerima grafit berlapis SiC(juga disebut alas/baki/pembawa).

Suseptor grafit berlapis SiC biasanya digunakan dalam peralatan pengendapan uap kimia organik logam (MOCVD) untuk mendukung dan memanaskan substrat kristal tunggal. Stabilitas termal dan keseragaman suseptor grafit berlapis SiC memainkan peran penting dalam menentukan kualitas pertumbuhan material epitaksi, menjadikannya komponen penting dalam peralatan MOCVD.

Teknologi MOCVD saat ini merupakan teknik utama untuk mengembangkan epitaksi film tipis GaN dalam produksi LED biru. Ia menawarkan keuntungan seperti pengoperasian yang sederhana, laju pertumbuhan yang terkendali, dan kemurnian tinggi dari film tipis GaN yang diproduksi. Susceptor yang digunakan untuk pertumbuhan epitaksi film tipis GaN, sebagai komponen penting di dalam ruang reaksi peralatan MOCVD, harus memiliki ketahanan suhu tinggi, konduktivitas termal yang seragam, stabilitas kimia yang baik, dan ketahanan yang kuat terhadap guncangan termal. Bahan grafit dapat memenuhi persyaratan ini.

Suseptor grafit adalah salah satu komponen inti dalam peralatan MOCVD dan berfungsi sebagai pembawa dan pemancar panas untuk wafer substrat, yang secara langsung mempengaruhi keseragaman dan kemurnian bahan film tipis. Akibatnya, kualitasnya secara langsung mempengaruhi persiapan Epi-Wafer. Namun, selama produksi, grafit dapat terkorosi dan terdegradasi karena adanya gas korosif dan sisa senyawa logamorganik, sehingga secara signifikan mengurangi masa pakai kerentanan grafit. Selain itu, bubuk grafit yang jatuh dapat menyebabkan kontaminasi pada chip.

Munculnya teknologi pelapisan memberikan solusi terhadap masalah ini dengan memberikan fiksasi bubuk permukaan, peningkatan konduktivitas termal, dan distribusi panas yang seimbang. Lapisan pada permukaan kerentanan grafit yang digunakan di lingkungan peralatan MOCVD harus memiliki karakteristik sebagai berikut:

1. Kemampuan untuk menutup sepenuhnya dasar grafit dengan kepadatan yang baik, karena kerentanan grafit rentan terhadap korosi di lingkungan gas korosif.

2. Ikatan yang kuat dengan susceptor grafit untuk memastikan bahwa lapisan tidak mudah terlepas setelah beberapa siklus suhu tinggi dan suhu rendah.

3. Stabilitas kimia yang sangat baik untuk mencegah lapisan menjadi tidak efektif dalam suhu tinggi dan atmosfer korosif. SiC memiliki keunggulan seperti ketahanan terhadap korosi, konduktivitas termal yang tinggi, ketahanan terhadap guncangan termal, dan stabilitas kimia yang tinggi, sehingga ideal untuk bekerja di atmosfer epitaksi GaN. Selain itu, koefisien muai panas SiC sangat dekat dengan grafit, menjadikannya bahan pilihan untuk melapisi permukaan suseptor grafit.

Semicorex membuat susceptor grafit berlapis CVD SiC, memproduksi suku cadang SiC yang disesuaikan, seperti perahu wafer, dayung kantilever, tabung, dll. Jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Hubungi telepon #+86-13567891907

Email: penjualan@semicorex.com