Kuarsa Kemurnian Tinggi: Bahan yang Sangat Diperlukan untuk Industri Semikonduktor

Kuarsa dengan kemurnian tinggi memiliki sifat fisik dan kimia yang luar biasa. Struktur kristal yang melekat, bentuk, dan variasi kisi berkontribusi terhadap karakteristik luar biasa seperti ketahanan suhu tinggi, ketahanan korosi, ketahanan abrasi, koefisien ekspansi termal rendah, insulasi tinggi, efek piezoelektrik, efek resonansi, dan sifat optik unik. Sifat-sifat tersebut menjadikannya sebagai bahan landasan yang tidak tergantikan bagi pengembangan industri strategis dan pilar.

Penerapan kuarsa dengan kemurnian tinggi mencakup beragam bidang termasuk semikonduktor, fotovoltaik, serat optik, dan sumber cahaya listrik. Di antara industri-industri tersebut, industri semikonduktor memegang pangsa terbesar, mencakup 50% penggunaannya.

Inti dari manufaktur semikonduktor terletak pada fabrikasi chip, yang mewakili segmen dengan nilai tambah tertinggi dalam industri. Pembuatan chip terutama terdiri dari empat tahap: pertumbuhan kristal tunggal, pemrosesan dan fabrikasi wafer, produksi sirkuit terpadu (IC), dan pengemasan. Tahapan yang paling kritis, kompleks, dan menuntut, khususnya dalam hal kebutuhan material, adalah pembuatan wafer silikon dan pemrosesan wafer.

Bahan kuarsa dengan kemurnian tinggi, dengan stabilitas termal yang luar biasa, ketahanan asam, ekspansi termal rendah, dan transmitansi spektral yang sangat baik, secara sempurna memenuhi persyaratan ketat industri semikonduktor terkait logam alkali dan kandungan logam berat dalam bahan pembawa. Proses produksi memerlukan sejumlah besar komponen kuarsa berkualitas tinggi, termasuk wafer, cincin, pelat, flensa, perahu tergores, tabung tungku difusi, dan tangki pembersih.

Kuarsa dengan kemurnian tinggi digunakan dalam berbagai tahap persiapan semikonduktor

Aplikasi dalam Pembuatan Wafer Silikon

Aplikasi utama kaca kuarsa dipembuatan wafer silikonterletak pada produksicawan lebur kuarsa, penting untuk proses Czochralski (CZ) yang digunakan untuk menumbuhkan ingot silikon kristal tunggal untuk fabrikasi wafer. Selain itu, wadah pembersih kuarsa juga digunakan.

Semicorex Wadah Kuarsa Menyatu

Aplikasi dalam Pengolahan Wafer

Selama pengolahan wafer, berbagai perawatan sepertioksidasi, epitaksi, litografi, etsa, difusi, deposisi uap kimia (CVD), implantasi ion, dan pemolesan dilakukan pada wafer silikon. Kaca kuarsa dengan kemurnian tinggi, karena kemurniannya, ketahanan suhu tinggi, ekspansi termal rendah, dan ketahanan terhadap korosi, memainkan peran penting dalam proses ini.

1)Difusi dan Oksidasi: Tabung difusi kaca kuarsabanyak digunakan dalam proses ini, bersama dengan flensa kuarsa yang menyertainya. Komponen penting lainnya termasuktabung tungku kuarsa(untuk transportasiperahu kuarsamasuk dan keluar dari tungku), perahu kuarsa (untuk membawa wafer silikon), dan rak perahu kuarsa. Diantaranya,tabung difusi kaca kuarsaadalah yang terpenting, karena kemurniannya, ketahanan terhadap deformasi suhu tinggi, dan geometri presisinya berdampak langsung pada kualitas, biaya, dan efisiensi produksi IC.

Perahu kuarsadan rak berfungsi sebagai pembawa yang sangat diperlukan untuk wafer silikon selama proses difusi, oksidasi, CVD, dan anil. Komponen-komponen ini hadir dalam berbagai spesifikasi dan ukuran, biasanya tersedia dalam konfigurasi horizontal dan vertikal. Kontak langsung dengan wafer silikon pada suhu tinggi memerlukan penggunaan kaca kuarsa dengan kemurnian tinggi dengan stabilitas termal yang sangat baik dan akurasi dimensi untuk komponen ini.

Komponen Kuarsa Semicorex untuk Tungku Difusi

2)Etsa dan Pembersihan:Proses etsa memerlukan bahan dan komponen kaca kuarsa yang tahan korosi, sehingga menyebabkan permintaan yang signifikan terhadap cincin kuarsa, ruang reaksi kaca kuarsa, dan penyangga wafer. Selain itu, tahap pembersihan asam dan pembersihan ultrasonik masing-masing menggunakan keranjang kaca kuarsa dan tangki pembersih, memanfaatkan stabilitas kimia material yang luar biasa. Stoples lonceng kuarsa juga digunakan selama pertumbuhan epitaksial silikon.

3)Fotolitografi:Kaca kuarsa dengan kemurnian tinggi berfungsi sebagai bahan substrat utama untuk masker foto, komponen penting dalam proses fotolitografi. Biaya pengadaan substrat ini mencapai 90% dari total biaya bahan baku masker foto, seperti yang ditunjukkan oleh data dari prospektus Qingyi Photomask. Sebagai alat berpresisi tinggi untuk mentransfer pola sirkuit selama pembuatan LCD, semikonduktor, dan perangkat elektronik lainnya, masker foto secara langsung memengaruhi presisi dan kualitas produk akhir. Hal ini memerlukan penggunaan ingot kaca kuarsa sintetis dengan kemurnian sangat tinggi sebagai bahan dasar untuk substrat masker foto.

Kesimpulannya, kombinasi unik dari sifat-sifat yang ditunjukkan oleh kuarsa dengan kemurnian tinggi telah mengukuhkan posisinya sebagai material yang sangat diperlukan dalam industri semikonduktor. Seiring kemajuan teknologi dan tuntutan akan miniaturisasi dan peningkatan kinerja, ketergantungan pada bahan kuarsa berkualitas tinggi diperkirakan akan semakin meningkat, sehingga semakin memperkuat peran pentingnya dalam membentuk masa depan elektronik.**

Semicorex, sebagai produsen dan pemasok berpengalaman, menyediakan material Kuarsa dengan kemurnian tinggi untuk industri Semikonduktor dan Fotovoltaik. Jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Hubungi telepon #+86-13567891907

Email: penjualan@semicorex.com