Bagaimana Sebenarnya Chuck Elektrostatis Keramik Diproduksi?

Metode penjepitan wafer tradisional mencakup penjepitan mekanis yang biasa digunakan dalam industri mekanis tradisional dan pengikatan lilin, yang keduanya dapat dengan mudah merusak wafer, menyebabkan lengkungan, dan mencemari wafer, sehingga berdampak signifikan terhadap presisi pemrosesan.

Bagaimana Vacuum Chuck Berkembang dan Mengapa TerjadiChuck Elektrostatis KeramikLebih disukai?

Seiring waktu, chuck vakum yang terbuat dari keramik berpori dikembangkan. Chuck ini menggunakan tekanan negatif yang terbentuk antara wafer silikon dan permukaan keramik untuk menahan wafer, yang dapat menyebabkan deformasi lokal dan mempengaruhi kerataan. Oleh karena itu, dalam beberapa tahun terakhir,chuck elektrostatis keramik, yang memberikan kekuatan adsorpsi yang stabil dan seragam, mencegah kontaminasi wafer, dan secara efektif mengontrol suhu wafer silikon, telah menjadi alat penjepit yang ideal untuk wafer ultra-tipis.

Bagaimana Proses ProduksinyaChuck Elektrostatis KeramikDilakukan?

Umumnya digunakan teknologi co-firing keramik multilayer, yang meliputi proses seperti tape casting, slicing, sablon, laminasi, hot press, dan sintering.

Untuk tipe Coulombchuck elektrostatis, lapisan dielektrik tidak mengandung bahan konduktif. Ini melibatkan pencampuran bubuk keramik, pelarut, pendispersi, pengikat, pemlastis, dan alat bantu sintering untuk menghasilkan bubur yang stabil. Bubur ini kemudian dilapisi dengan pisau dokter, dikeringkan, dan diiris hingga membentuk lembaran keramik berwarna hijau dengan ketebalan tertentu. Untuk tipe JRchuck elektrostatis, pengatur resistivitas tambahan (bahan konduktif) dicampur untuk mencapai ketahanan yang diperlukan dari lapisan JR, diikuti dengan pengecoran pita untuk membentuk lembaran hijau.

Sablon terutama digunakan untuk menyiapkan lapisan elektroda. Pasta konduktif pertama kali dituangkan di salah satu ujung pelat sablon. Di bawah aksi alat pembersih yg terbuat dr karet pada printer layar, pasta konduktif melewati bukaan jaring pada pelat layar dan mengendap ke media. Proses pencetakan selesai ketika alat pembersih yg terbuat dr karet menyebarkan pasta perak secara merata melalui jaring kasa.

Lembaran keramik hijau ditumpuk sesuai urutan yang diperlukan (lapisan substrat, lapisan elektroda, lapisan dielektrik) dan jumlah lapisan. Mereka kemudian ditekan bersama-sama di bawah kondisi suhu dan tekanan tertentu untuk membentuk benda hijau yang lengkap. Sangat penting untuk memastikan bahwa tekanan didistribusikan secara merata ke seluruh permukaan benda hijau untuk menjamin penyusutan yang seragam selama kompresi.

Akhirnya, seluruh bodi hijau mengalami sintering terintegrasi dalam tungku. Profil suhu yang sesuai harus ditetapkan untuk memastikan kontrol terhadap kerataan dan penyusutan selama proses sintering. Dilaporkan bahwa NGK Jepang dapat mengendalikan tingkat penyusutan bubuk selama sintering hingga sekitar 10%, sementara sebagian besar produsen dalam negeri masih memiliki tingkat penyusutan sebesar 20% atau lebih.**

Kami di Semicorex berpengalaman dalam menyediakan solusi Chuck Elektrostatis KeramikDanbahan keramik lainnyaditerapkan di sektor semikonduktor dan PV, jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Hubungi telepon: +86-13567891907

Email: penjualan@semicorex.com