Proses Annealing dalam Manufaktur Semikonduktor Modern

Ketika titik-titik teknologi terus menyusut, pembentukan persimpangan yang sangat dangkal menghadirkan tantangan yang signifikan. Proses anil termal termasukAnil termal cepat (RTA)dan flash lamp annealing (FLA) adalah teknik penting yang mempertahankan tingkat aktivasi pengotor yang tinggi sekaligus meminimalkan difusi, sehingga memastikan kinerja perangkat yang optimal.

1. Formasi Persimpangan Ultra-Dangkal:

Ketika titik-titik teknologi menyusut, pembentukan persimpangan yang sangat dangkal menjadi semakin menantang. Teknik seperti anil termal cepat (RTA) dan flash lamp annealing (FLA) sangat penting untuk mencapai tingkat aktivasi pengotor yang tinggi sekaligus meminimalkan difusi, sehingga memastikan kinerja perangkat yang optimal.

2. Modifikasi Dielektrik Gerbang High-k:

Anil pasca-deposisi (PDA) secara signifikan meningkatkan sifat listrik dielektrik gerbang k tinggi. Proses ini mengurangi arus kebocoran gerbang dan meningkatkan konstanta dielektrik, yang penting untuk perangkat logika dan memori tingkat lanjut.

3. Pembentukan Silisida Logam:

Optimalisasi silisida logam, seperti CoSi dan NiSi, sangat penting untuk meningkatkan ketahanan kontak dan curah. Kontrol yang tepat terhadap kondisi anil memfasilitasi penciptaan fase paduan yang ideal, sehingga meningkatkan efisiensi perangkat secara keseluruhan.

4. Teknologi Integrasi 3D:

Dalam teknologi seperti 3D NAND dan 3D DRAM, proses anil harus diterapkan di beberapa lapisan. Teknik termal cepat memainkan peran penting dalam memastikan setiap lapisan mencapai kinerja optimal.

Annealing sangat penting dalam manufaktur semikonduktor, memungkinkan perbaikan kerusakan kisi, aktivasi pengotor, modifikasi film, dan pembentukan silisida logam melalui kontrol suhu, waktu, dan anggaran termal yang tepat. Ketika node teknologi menyusut, metode anil canggih pun meningkatRTA, FLA, dan laser spike annealing telah menjadi arus utama. Ke depan, proses anil akan terus berinovasi untuk memenuhi permintaan material dan perangkat yang sedang berkembang.

Semicorex menawarkan yang terdepan di industrisolusi anil, memastikan perangkat semikonduktor Anda memenuhi standar kinerja tertinggi dengan presisi dan keandalan.

Jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Hubungi telepon #+86-13567891907

Email: penjualan@semicorex.com