Apa itu SOI

Silicon-on-insulator (SOI) diakui sebagai salah satu solusi untuk menggantikan bahan silikon monocrystalline yang ada di era nanoteknologi dan merupakan alat utama untuk mempertahankan tren Hukum Moore. Silicon-on-insulator, teknologi substrat yang menggantikan silikon substrat curah tradisional dengan substrat "rekayasa", telah digunakan selama lebih dari 30 tahun dalam aplikasi khusus seperti sistem elektronik militer dan ruang angkasa, di mana SOI memiliki keunggulan unik karena keunggulannya yang luar biasa. resistensi radiasi dan karakteristik kecepatan tinggi.

Bahan SOI adalah dasar untuk pengembangan teknologi SOI, dan pengembangan teknologi SOI bergantung pada kemajuan material SOI yang berkelanjutan. Kurangnya material SOI yang murah dan berkualitas tinggi telah menjadi kendala utama bagi teknologi SOI untuk memasuki produksi industri skala besar. Dalam beberapa tahun terakhir, dengan kematangan teknologi preparasi material SOI, masalah material yang menghambat pengembangan teknologi SOI secara bertahap diselesaikan, yang pada akhirnya mencakup dua jenis teknologi preparasi material SOI, yaitu implantasi Speration-by-oxygen (SIMOX) dan teknologi ikatan. Teknologi bonding meliputi teknologi Bond and Etch back (BESOI) tradisional dan teknologi Smart-cut yang menggabungkan injeksi ion hidrogen dan bonding yang diusulkan oleh M. Bruel, salah satu pendiri SOITEC di Prancis, serta kombinasi preparasi material Simbond SOI isolasi dan ikatan oksigen diusulkan oleh Dr. Meng Chen pada tahun 2005. Teknologi baru menggabungkan isolasi dan ikatan injeksi oksigen.