Mengetahui Paddle Cantilever

Selama pemrosesan, wafer semikonduktor biasanya harus dipanaskan dalam tungku khusus. Tungku seperti itu biasanya terdiri dari tabung silinder yang panjang dan tipis. Wafer ditempatkan dalam tungku dan reaktor sedemikian rupa sehingga disusun sepanjang bidang yang ditentukan oleh penampang lingkaran tungku atau reaktor dan diberi jarak pada titik-titik yang telah ditentukan sebelumnya, biasanya dengan jarak yang sama, di sepanjang sumbu pusat dari tungku atau reaktor. Untuk mencapai posisi ini, wafer biasanya ditempatkan pada slotted holders, yang disebut perahu wafer, yang menempatkan wafer dalam konfigurasi jarak yang disejajarkan sepanjang poros tengah.

Perahu kecil berisi kumpulan wafer yang akan diproses ditempatkan pada dayung kantilever panjang di mana tungku tabung dan reaktor dapat dimasukkan dan ditarik. Dayung semacam itu biasanya mencakup bagian pembawa datar di mana satu atau lebih perahu kecil dapat ditempatkan, dan pegangan panjang, yang terletak di salah satu ujung bagian pembawa datar, di mana dayung dapat ditangani. Bagian transisi biasanya dibentuk antara pegangan dan bagian pembawa untuk membuatnya utuh. Selain itu, pegangannya harus keluar dari tungku atau reaktor sehingga itu dan kapal wafer dapat dimanipulasi.

Penempatan kapal wafer di dalam tungku atau reaktor adalah penting karena diinginkan untuk menempatkan pusat setiap wafer sedekat mungkin dengan sumbu pusat tungku atau reaktor untuk mencapai kondisi pemrosesan yang seragam yang menjadi sasaran wafer. Oleh karena itu, pembengkokan dayung yang disebabkan oleh berat kapal yang membawa wafer harus diperhatikan dalam desain dayung, terutama dayung hanya ditopang pada salah satu ujungnya, yaitu ujung yang menonjol dari ruang tungku. Selain mempertimbangkan desain dayung yang dihasilkan dari persyaratan bobot operasional, satu set klem yang dirancang untuk secara tepat menahan ujung dayung yang diperpanjang pada posisinya juga harus digunakan. Klem ini harus cukup kuat untuk menjaga dayung pada posisi yang diinginkan dengan tepat sekaligus mudah digunakan dan meminimalkan kemungkinan kerusakan pada dayung selama penjepitan.

Oleh karena itu, diperlukan dayung kantilever yang dapat digunakan dengan beban yang lebih berat namun tetap kompatibel dengan sistem penjepitan yang ada. Ada juga kebutuhan akan dayung kantilever yang menunjukkan karakteristik defleksi yang dapat diterima pada seluruh rentang beban berat yang dapat digunakannya.

cdayung antilever direkomendasikan untuk menggunakan silikon karbida rekristalisasi dengan lapisan tipis CVD SiC, yang merupakan kemurnian tinggi dan pilihan terbaik untuk komponen dalam pemrosesan semikonduktor.

Semicorex dapat menyediakankualitas tinggidayung kantileverDanlayanan yang disesuaikan sesuai dengan gambar dan lingkungan kerja.