Perbedaan struktural antara berbagai jenis reaktor

Berdasarkan konfigurasi ruang reaksi, peralatan perlakuan panas (peralatan tabung tungku) dibagi menjadi tiga kategori: tabung tungku vertikal, tabung tungku horizontal, dan tungku pemrosesan termal cepat (RTP).

Tabung tungku vertikal memiliki tabung kuarsa yang disusun secara vertikal, dengan wafer ditempatkan di sekitar tabung untuk pemanasan. Keuntungan utamanya adalah distribusi suhu yang seragam, kontrol atmosfer yang presisi, otomatisasi tinggi, kontaminasi partikulat yang lebih sedikit, tapak yang kecil, dan dukungan untuk pemrosesan batch (terutama cocok untuk wafer 12 inci), menjadikannya peralatan utama yang tersedia saat ini. Ukuran pasar global mencapai $3,2 miliar pada tahun 2024 (data SEMI). Kerugiannya termasuk pemisahan gas-cair yang mudah, dan aliran media yang ke bawah berpotensi menyebabkan tabung tungku terbakar.

Tabung tungku horizontal memiliki tabung kuarsa yang ditempatkan secara horizontal, memproses 100-200 wafer sekaligus. Keunggulannya meliputi aliran gas-cair yang seragam di dalam tabung tungku dan kontrol suhu yang lebih presisi. Kerugiannya termasuk tapak yang lebih besar dan konsumsi penyangga tabung perantara baja paduan tinggi yang lebih tinggi. Secara struktural, tabung tungku horizontal menempatkan wafer secara vertikal di dalam tabung horizontal untuk diproses.

Tungku anil termal cepat (RTP) menggunakan lampu inframerah halogen untuk memanaskan wafer tunggal dengan cepat, menawarkan laju pemanasan dan pendinginan cepat yang hanya mengubah suhu wafer tanpa mengubah suhu ruang. Mereka cocok untuk anil cepat dalam jumlah kecil tetapi tidak untuk produksi massal.

Dalam pemrosesan wafer, tabung tungku horizontal menempatkan wafer di atas perahu kuarsa, yang kemudian bertumpu pada kerangka pendukung silikon karbida (SiC). Kerangka pendukung kemudian didorong ke dalam tabung tungku kuarsa, di mana wafer mengalami reaksi dalam zona suhu konstan. Sebaliknya, tabung tungku vertikal menempatkan wafer di atas menara kuarsa dan perlahan-lahan menaikkannya ke dalam tabung tungku kuarsa untuk diproses. Setelah reaksi, wafer diturunkan secara perlahan untuk mencegah pembengkokan atau kerusakan.

Semicorex memasok produk khusus berkualitas tinggireaktor tungku kuarsa. Produk kami dirancang untuk memberikan stabilitas termal yang unggul, masa pakai yang lebih lama, dan konsistensi proses yang luar biasa. Untuk solusi khusus atau informasi teknis tambahan, jangan ragu untuk menghubungi tim teknik kami.

Telepon: +86-13567891907

Email: penjualan@semicorex.com