Proses deposisi film tipis semikonduktor merupakan komponen penting dari teknologi mikroelektronika modern. Ini melibatkan pembangunan sirkuit terintegrasi yang kompleks dengan mendepositkan satu atau lebih lapisan tipis material pada substrat semikonduktor.
Baca selengkapnyaSilikon karbida (SiC) adalah bahan semikonduktor celah pita lebar yang telah menarik perhatian besar dalam beberapa tahun terakhir karena kinerjanya yang luar biasa dalam aplikasi tegangan tinggi dan suhu tinggi. Studi ini secara sistematis mengeksplorasi berbagai karakteristik kristal SiC yang ditu......
Baca selengkapnya4H-SiC, sebagai bahan semikonduktor generasi ketiga, terkenal dengan celah pita yang lebar, konduktivitas termal yang tinggi, serta stabilitas kimia dan termal yang sangat baik, menjadikannya sangat berharga dalam aplikasi daya tinggi dan frekuensi tinggi.
Baca selengkapnya