Ketika titik-titik teknologi terus menyusut, pembentukan persimpangan yang sangat dangkal menghadirkan tantangan yang signifikan. Proses anil termal termasuk anil termal cepat (RTA) dan anil lampu flash (FLA) adalah teknik penting yang mempertahankan tingkat aktivasi pengotor yang tinggi sekaligus m......
Baca selengkapnyaDalam manufaktur semikonduktor, presisi dan stabilitas proses etsa adalah yang terpenting. Salah satu faktor penting dalam mencapai etsa berkualitas tinggi adalah memastikan wafer rata sempurna di atas baki selama proses berlangsung. Setiap penyimpangan dapat menyebabkan pemboman ion yang tidak mera......
Baca selengkapnya